Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269721 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine High-End-Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein vollautomatisches System, das verwendet werden kann, um eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie Mustern, Glühen, Ätzen und Abscheiden durchzuführen. TEL CS500 ist eine ARCVD-Maschine (Atmospheric Relation, Chemical, Vapor Deposition), die für die Photolithographie eine resistive Maskeneinheit verwendet. Es ist in der Lage, extrem dünne Photolackschichten zu erzeugen, die die Grundlage für die Schaffung aktiver Halbleiterbauelemente wie Transistoren und ICs bilden. Die Maschine kann in einer hochauflösenden Umgebung mit 0,1 µm Auflösung und einer Hochdurchsatzumgebung mit einer Einzeldüsenrate von 10.000 Wafern/Stunde betrieben werden. Die Maschine kann 100/Wafer auf einmal verarbeiten, was durch die Automatisierung zu einer höheren Ausbeute an Geräten führt. TOKYO ELECTRON CS 500 wurde auch entwickelt, um maximale Prozessstabilität und Wiederholbarkeit mit seinem In-Situ Purging Tool (ISPS) zu gewährleisten. Diese Anlage bietet einen redundanten Strom von vorgemischten Prozessgasen mit einer temperatur- und druckstabilen Umgebung, die für die genaue Herstellung von Halbleiterbauelementen entscheidend ist. Das Modell CS 500 beinhaltet eine voll integrierte Beschichtungs-/Entwicklereinheit, die für eine optimale Prozessformulierung und -steuerung ausgelegt ist. Er ist so konzipiert, dass er den gesamten Wafer von Rand zu Rand abdeckt, was eine Gleichmäßigkeit und eine bessere Prozesskontrolle ermöglicht. Das Gerät ist auch für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen konzipiert, einschließlich, aber nicht beschränkt auf die Herstellung von MEMS, Leiterplatten, LEDs, Biosensoren und optischen Komponenten. Das System kann auch mit zusätzlichen Prozesslösungen angepasst werden, um die verschiedenen Bedürfnisse der Kunden zu erfüllen. Schließlich CS500 ist ein robuster, und zuverlässige photowiderstehen Einheit, die Benutzer mit fortgeschrittenen Fähigkeiten für ihre Halbleitergerätverarbeitungsanwendungen versorgt. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen wie der In-Situ Purging Machine (ISPS), der Beschichtungs-/Entwicklereinheit, der Hochauflösung und dem Durchsatz ist es eine ideale Wahl für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen.