Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269765 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die sowohl hochauflösende Photolithographie- als auch Trockenätzprozesse durchführen kann. Das System soll eine präzise Strukturierung von Sub-Mikrometer-Geometrien ermöglichen, die dann bei der Erstellung integrierter mikroelektronischer Geräte verwendet werden. Die Einheit weist eine Kammer mit einem abnehmbaren elektrostatischen Spannfutter zur Planarisierung und Strukturierung auf. Innerhalb der Maschine befindet sich ein Block aus einem Resistmaterial und einem spezialisierten Substrat. Das elektrostatische Spannfutter schwebt den Block und steuert den Wafer präzise in Geschwindigkeit und Position. Zur Durchführung von Lithographieverfahren verwendet TEL CS500 eine fortschrittliche, hochauflösende Lichtquelle, wie einen KrF- oder ArF-Excimerlaser. Damit wird das Projektionsbild über Maskierung oder eingebaute Fotomaske auf den Resist erzeugt. Dabei interagiert UV-Strahlung mit dem Resist und erzeugt ein Bild, das entsprechend der Maskenstruktur anspricht. Nach dem Lithographieschritt verwendet das Werkzeug einen dynamischen Rückseite-Bias-Generator für Trockenätzanwendungen. Dieses Merkmal erzeugt über eine Stromversorgung eine negativ geladene Rechteckvorspannung, die an verschiedenen Stellen auf dem Wafer aufgebracht wird. Mit dieser Voreingenommenheit kann das Gut Muster in das Resistmaterial einätzen. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON CS 500 auch über eine temperaturgesteuerte Umgebung, die es ermöglicht, Prozesse bei unterschiedlichen Temperaturen durchzuführen. Dies hilft, die Auflösung des Gerätes zu optimieren, um die gewünschten Musterergebnisse zu erzielen. Neben seinen hochauflösenden Lithographie- und Ätzfähigkeiten verfügt TEL CS 500 auch über ein Inline-Inspektionswerkzeug, das eine On-the-Fly-Überwachung der Gerätestruktur ermöglicht. Dies ermöglicht eine sofortige Einstellung von Prozessen, um eine genauere Vorrichtung herzustellen. Schließlich ist das Modell mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die eine genaue Überwachung und Kontrolle aller Prozesse ermöglicht. Dadurch wird der gesamte Prozess reibungsloser und effizienter. CS500 ist somit ein leistungsfähiges Werkzeug für jeden fortschrittlichen Photolithographie- und Trockenätzprozess.