Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269767 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269767
System HITACHI LE-4000A Mask cleaner Tank.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist ein spezialisiertes fotografisches Widerstandsbearbeitungswerkzeug, das in der Photolithographie verwendet wird. Das Werkzeug verwendet nasse oder trockene Entwicklungsprozesse, um eine überlegene Kontrolle des Resistverhaltens und seiner Beständigkeit gegen Ätzlösungen zu erreichen. TEL CS500 verwendet eine spezielle Steuerungsausrüstung, um die physikalischen Parameter zu verwalten, einschließlich des Volumens und der Temperatur der nassen oder trockenen Entwicklungslösungen. Dadurch wird sichergestellt, dass der Resistentwicklungsprozess innerhalb der optimalen Parameter durchgeführt wird, wodurch feste, wiederholbare Ergebnisse erzielt werden können. Das System bietet dem Benutzer einen hochauflösenden LCD-Bildschirm, der die aktuellen Einstellungen mit Genauigkeit und Klarheit anzeigt. Das Gerät hat auch die Fähigkeit, sowohl dunkle als auch helle Feldplattensätze automatisch zu verwalten, um sicherzustellen, dass lichtempfindliche Bereiche des Wafers die richtige Belichtung erhalten. TOKYO ELECTRON CS 500 ist split-field kompatibel, was bedeutet, dass es während des Entwicklungsprozesses eine Ausrichtungsregistrierung erreichen kann. Dies trägt dazu bei, dass die kritische Resistmusterung auf höchstem Niveau gehalten wird. Die Maschine hat auch einen schnellen, intuitiven und genauen Programm-Editor, der die Konfiguration der Resist-Entwicklung ermöglicht. Dies ermöglicht es dem Benutzer, maßgeschneiderte Programme zu erstellen, um bestimmte Ziele und Anforderungen zu erreichen. TOKYO ELECTRON CS500 kann das Lösungsbad auf eine Genauigkeit von +/- 0,1 mm im Bad steuern. Dieses Maß an Genauigkeit sorgt für eine gleichmäßige Dünnheit in der gesamten Resistschicht und ermöglicht eine präzisere Kontrolle in der Resistentwicklung. TEL CS 500 enthält ein Gehäuse mit geringer Ausdehnung, das hilft, genaue Messungen zu gewährleisten und während des gesamten Entwicklungsprozesses eine überlegene Messgenauigkeit zu bieten. Das Tool bietet auch ein Überwachungsprogramm für die Resist-Dicke-Messung. Dies hilft, die Genauigkeit der Schichtstärke vor dem Ätzvorgang zu gewährleisten. CS500 ist auch mit einem Dampferzeuger ausgestattet, der zur Steuerung der während des Entwicklungsprozesses erzeugten Kondenswassertröpfchengröße dient. Dies hilft, Wafertrocknungsfehler zu minimieren und sorgt für eine gleichmäßige Photoresistschicht. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Photoresist-Asset, das hilft, überlegene Muster auf empfindlichen Substraten zu erstellen. Seine fortschrittlichen Steuerungssysteme sorgen für Genauigkeit und Wiederholbarkeit und bieten dem Benutzer einfach zu bedienende Funktionen, um leistungsfähige Entwicklungsprogramme zu erstellen.
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