Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9293647 zu verkaufen
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ID: 9293647
Weinlese: 1997
Coater / (2) Developer system
For LCD flat panel display manufacture
Track runs Gen 2 (370 mm x 470 mm) panels
Handle (4) cassettes
(3) Robots and transfer stations
SCR / (4) Cools / (7) L Ovens / HMDS
Glass substrate:
Min: 300 mm x 400 mm
Max: 400 mm x 500 mm
Module includes:
(7) Hot plates
(4) Chill plates
HMDS Vapor prime
Megasonic scrubber
Edge bead remover
Specification:
Main controller: NEC 98" Series
Loader / Unloader: (4) Uni-cassettes
(4) Spin coater heads (Coater / (2) Developer / SCR)
Coater unit specification:
Function for one coater head:
Coater cup: Standard cup
Photo resist line: (2) Nozzles
Back side rinse
RRC Fuction
P/R Drain:
Local drain 10L tank
Drain tank with pump
P/R Supply allocation: Bottle / Nozzle
Standard function:
Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
Solvent supply:
(5) Gal canisters
(2) Tanks auto change (Local supply)
DEV Unit specification:
Function for developer unit:
DEV Cup: TEL Standard cup
DEV Line: Nozzle for etch unit
Back side rinse
Top rinse function
EV Drain: Facility drain
DEV Supply allocation: Supply from facility with 200 liter tank
CS500 Standard function cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
SCR Unit specification:
Function for SCR unit:
SCR Cup: Standard cup
Dl Line: Nozzle for etch unit with mega-sonic
Back side rinse
Top rinse function
D.I Drain: Facility drain
CS500 Standard function: Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 equipment ist ein fortschrittliches Photolacksystem zur Herstellung von Halbleitern, integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Komponenten. Es wurde entwickelt, um sich nahtlos mit vorhandenen Fertigungswerkzeugen zu verbinden und ist damit eines der kostengünstigsten verfügbaren Photolacksysteme. Im Zentrum von TEL/TOKYO ELECTORN TEL CS500 steht die hocheffiziente mittelgroße Kammereinheit. Die Verwendung einer High-End-Kammermaschine mit mittlerer Größe sorgt dafür, dass sie mit gleichbleibender Leistung arbeitet und alle Prozessparameter präzise steuern kann. Dies ermöglicht zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse während des gesamten Prozesses. TOKYO ELECTRON CS 500 verwendet eine Vielzahl von Technologien, um die höchste Genauigkeit in Schritt- und Wiederholungsprozessen zu gewährleisten, einschließlich optischer Lithographie, elektrochemischem Kopieren und Nassätzverarbeitung. Diese Genauigkeit ist bei zuverlässigen Mikroschaltungen mit hohen Ausbeuten unerlässlich. Darüber hinaus ist dieses Werkzeug in der Lage, hochpräzise, schattenlose Belichtung durchzuführen. Eine schattenlose Belichtung ist von größter Bedeutung, um sicherzustellen, dass das fertige Produkt eine vollkommen genaue Replik des Quellmusters ist. CS 500 implementiert den Einsatz spezieller optischer Komponenten zur weiteren Kontrolle der Lichtsättigung sowie Programme für komplexe Prozesse und Dünnschichtbehandlungen. Der gesamte Prozess wird von der Hauptverarbeitungskonsole aus gesteuert, die sich in der Nähe der Hardware befindet und alle notwendigen Prozesssteuerungen für den Bediener enthält. Dieses Asset ist benutzerfreundlich, da es schnell und einfach eingerichtet werden kann, um Ausfallzeiten zu minimieren und das Produktionsniveau zu erhöhen. CS500 ist ein unglaublich zuverlässiges und effizientes Photolackmodell, das sich perfekt für die Herstellung von Mikroschaltungen höchster Qualität eignet. Es bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten und ist damit die ideale Wahl für jedes hochpräzise Fertigungsprojekt.
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