Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301072 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9301072
Weinlese: 2005
Coaters 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die fortgeschrittene Mikrostrukturierung von elektronischen Geräten. Es ist ein vollautomatisiertes System, das zum genauen und präzisen Drucken winziger Merkmale in elektronischen Strukturen entwickelt wurde. TEL CS500 ermöglicht den mehrstufigen Druck auf Substraten bis zu 3mm und kann die meisten Substratorientierungen adressieren. Das Gerät integriert bildgebende und optische Komponenten wie die hochauflösende ladungsgekoppelte Gerätekamera (CCD) und Laserdiode, die die Steuerung von Ausrichtung und Brennpunkt ermöglichen, um den Druck von Submikronmerkmalen mit außergewöhnlicher Genauigkeit zu optimieren. Die Kamera hilft auch, eine drastische Verringerung der Chip-zu-Chip-Varianz auf einer einzelnen Film- oder Substratoberfläche zu erreichen. TOKYO ELECTRON CS 500 ist mit einer Stufe ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit der Positionierung und Rotation bietet, um eine präzise Ausrichtung des Substrats für die Bildpositionierung zu erhalten. Zusätzlich kann ein hochauflösender und automatisierter Indexer eingesetzt werden, um eine ausgerichtete Ausrichtung in X- und Y-Richtung zu ermöglichen. Um einen effektiven Druckprozess zu ermöglichen, ist TEL CS 500 mit einer hochpräzisen, intuitiven und benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche zur Bearbeitung, Kanalauswahl und Auflösungseinstellungen integriert. Darüber hinaus kommt die Maschine mit erweiterten Parameteranpassungen für die Mustererzeugung und erleichtert das präzise Formen komplexer Muster. Es enthält auch eine „Durchlauf“ -Funktion, die die Bildung von 3D-Funktionen ermöglicht, während ein intelligenter Retikle-Steuermechanismus enthalten ist, um sicherzustellen, dass nur die genauesten Bilder auf das Substrat oder Film übertragen werden. CS 500 verwendet fortschrittliche Scanalgorithmen, die sowohl primäre als auch sekundäre Bilder bei extrem geringen Restüberschneidungen aufnehmen. Dadurch wird sichergestellt, dass die gedruckten Merkmale eine minimale Kantenrauhigkeit und eine ausgezeichnete Registriergenauigkeit aufweisen. Das Werkzeug enthält außerdem fortschrittliche Temperaturregeltechniken, um eine konsistente Drucktemperatur für eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus erleichtert CS500 die optimale Produktivität durch die Integration von Dosier- und Sprühtechnik für die Resistbeschichtung auf einer einzigen Plattform. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 ist energieeffizient und beinhaltet auch eine Notabschaltung bei Stromausfall oder anderen Störungen. Das Modell profitiert auch von einem kompakten physikalischen Design, das minimierten Platzbedarf und eine flexible Wahl der Umgebung ermöglicht.
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