Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9412547 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 ist eine Photoresist-Ausrüstung für hochpräzise, hocheffiziente Photolithographie. Das System verwendet fortschrittliche Produktionsprinzipien für den Einsatz in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Plattenlaufwerkindustrie. TEL CS500 ist mit einer 325-mm-feldgestützten Schrittbewegungssteuerung ausgestattet, die präzise und schnelle Fortschritte im Wellenlängenbereich zwischen 248 und 419 nm ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über einen speziellen NIR-betriebenen Verschluss, der höhere Auflösungen und weniger Prozessschritte ermöglicht. TOKYO ELECTRON CS 500 verwendet ein Zweilinsen-Design mit einem VIS/NIR-Objektiv und einem UV-Objektiv. Das UV-Objektiv ist sowohl kohlefaserkorrigiert als auch glasfaserkorrigiert. Die Linsen auf der Maschine haben eine gesamte numerische Öffnung von 0,90 (NA), um eine Hochleistungs-Bildgebung zu gewährleisten. Mit seiner optischen Lampe bietet TOKYO ELECTRON CS500 die Möglichkeit, das Maskenmuster auch bei geringer Mindestgröße automatisch zu erkennen, wodurch der Bedarf an manuellen Anpassungen erheblich reduziert wird. Unterstützt vom Dual-Track Flatness Measurement Tool und der Side-by-Side-Streuung kann TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 die Ergebnisse während des Prozesses genau überwachen. CS500 verfügt auch über einen neuen gehärteten Polarisator, der eine präzise Einstellung der Bildgebungs- oder Beleuchtungsrichtung unter extremen Betriebsbedingungen ermöglicht. Dadurch wird der Leistungsverlust von Polarisationselementen verringert, was zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit und Unterdrückung von Flare führt. TEL CS 500 beinhaltet eine präzise Bewegungssteuerung mit einer geschlossenen Stufe, die über einen hochauflösenden Positionssensor verfügt, der ein vollständiges und genaues Feedback für die Zielabtastung liefert. Dies verbessert nicht nur die Positionsgenauigkeit, sondern garantiert auch einen höheren Durchsatz und eine bessere Prozessleistung. Die Anlage ist mit einer benutzerfreundlichen Human Machine Interface (HMI) ausgestattet, wodurch Prozesse einfach bedient und angepasst werden können. Das HMI ist auch mit einem Datenerfassungsmodell ausgestattet, das eine sichere und nachvollziehbare Datenerfassung und -abfrage von Prozessergebnissen ermöglicht. CS 500 liefert präzise, wiederholbare Photoresist-Ergebnisse, was zu reduzierten Abbildungsausbeuten, verbesserter Prozessstabilität, höherem Durchsatz und effektiverer Kundendienstzufriedenheit führt. Mit seiner Kombination aus fortschrittlichen Bildgebungs- und Prozesstechnologien ist das Gerät eine ideale Wahl für die Präzisions-Halbleiterherstellung.