Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399459 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON CS800 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Strukturierung von Halbleiterchips. Dieses System ist in der Lage, eine hochauflösende Strukturierung von Photolack auf Waferebene bereitzustellen. Das Gerät besteht aus einem Mainframe, einer Batch-Verarbeitungseinheit, einem Spin-Prozessor und einem CDS-Monitor. Der Mainframe wird zur Steuerung der Maschine verwendet und enthält eine grafische Benutzeroberfläche, die die Bedienung vereinfacht. Es umfasst auch eine Vielzahl von Kommunikationsports, die eine Integration mit anderen Systemen ermöglichen, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden. Der Mainframe kann mit programmierbaren Steuerelementen konfiguriert und automatisiert werden, um sich wiederholende Aufgaben zu bearbeiten. Die Chargenverarbeitungseinheit dient zur Bearbeitung mehrerer Wafer in einem Zyklus mit hoher Geschwindigkeit. Dies ermöglicht einen erhöhten Durchsatz, wodurch der Gesamtaufwand für die Waferbearbeitung reduziert wird. Die Prozesseinheit ist für den Einsatz mit einem Spinner ausgelegt und kann bis zu fünf Kassetten von Wafern gleichzeitig aufnehmen. Der Spin-Prozessor wird verwendet, um die Wafer während der Musterprozesse zu drehen. Es ist für Hochgeschwindigkeitsbetrieb konzipiert, um eine genaue Verarbeitung zu gewährleisten. Der Spinner ist mit einer Vielzahl von Bewegungs- und Steuerungsmechanismen wie einer automatischen Spindelgeschwindigkeitseinstellung, einem geschlitzten Führungsring und einer Bremse ausgestattet. Der CDS-Monitor wird verwendet, um den Fortschritt des Musterprozesses in Echtzeit zu überwachen. Dieser Monitor verfügt über eine Reihe von Funktionen wie Datenerfassung, Signal- und Drifterkennung und Bildvergleich. Der CDS-Monitor kann verwendet werden, um mögliche Fehler oder Probleme zu erkennen, bevor sie sich auf die endgültige Waferqualität auswirken. Das Photoresist-Tool TEL CS 800 wurde entwickelt, um eine hochauflösende Strukturierung auf Waferebene zu ermöglichen. Seine Eigenschaften, wie der Mainframe, die Batch-Verarbeitungseinheit, der Spin-Prozessor und der CDS-Monitor, ermöglichen eine einfache und genaue Bedienung und machen dieses Asset zu einem Must-Have für Halbleiterchip-Hersteller.
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