Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #293661853 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON CS800S ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Entwicklung und Herstellung von Wafer-Level-Geräten entwickelt wurde. Es ist für photolithographische Prozesse wie Maskenschreiben und Ätzen konzipiert. TEL CS800S ist mit einem hochauflösenden LaserWriter Fotomasken-Schreiber ausgestattet, der 10.000 Spannungsstufen über eine 0,25-Meter-Tonhöhe schreiben kann. Es kann auch als High-End-E-Beam-Maskenschreiber für ultrahochauflösende Masken verwendet werden, die bis zu 50nm große Muster schreiben. Das System umfasst auch eine großflächige Inspektionseinheit nach der Bildgebung, die eine schnelle, genaue Inspektion und Analyse von Musterbildern ermöglicht. TOKYO ELECTRON CS-800S umfasst eine automatisch einstellbare Stufe, die eine verbesserte Lithographie-Genauigkeit sowie eine breite Palette von Funktionen wie Autofokus, programmierbare Bühnenspline usw. bietet. Darüber hinaus bietet CS800S einen „Soft Circuit Monitor (SCM)“ an, um die optische Leistung der Maske zu messen. SCM kann auch Fehler in Photomasken durch Messung ihrer gesamten Luftbildintensität und Kantenschärfe erkennen. Mit CS-800S Maschine, die maximale Mustergröße, die geschrieben werden kann, ist 8 „x 10“, mit Linienbreiten bis 0,05 um und Kontaktlöcher bis 0,12 um. Das Werkzeug bietet auch eine 4X Reduzierung der Polarisationsverluste, was zu einer höheren Schaltungsausbeute führt. Neben den oben genannten Merkmalen bietet TOKYO ELECTRON CS800S auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen wie eine automatisierte Resist-Anwendung, eine schnelle Belichtung und erweiterte Resist-Vorwärmfunktionen. Darüber hinaus ist es mit einer automatisierten Kalibrierung ausgestattet, die eine präzise Steuerung von Parametern wie Stufenverschiebung und Stufenspline ermöglicht. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON CS-800S ein hochfähiges Photolackmodell, das für hochauflösende photolithographische Prozesse entwickelt wurde. Mit seinem automatischen Kalibriergerät, hochauflösendem Laserschreiber und Nachbildprüfsystem eignet es sich für die Entwicklung und Produktion von Wafer-Level-Geräten.