Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293830618 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + ist eine integrierte Photoresist-Verarbeitungsanlage mit Funktionen, die die Produktivität steigern und gleichzeitig hervorragende Lösungen für die Reinigung von Masken und Substraten und die Photoresist-Beschichtung bieten. Das System besteht aus drei Hauptteilen: der Resistvorbehandlungslösungskammer, dem Resistsprüher und der Lichtbelichtungsstation. Die Lösungskammer soll das Substrat vorbereiten, bevor es mit dem Resistmaterial besprüht wird. Neben dem Resist-Vorbehandlungsschritt ist die Lösungskammer auch in der Lage, die Substratoberfläche eines vorhandenen Resistmaterials zu reinigen und abzustreifen. Diese Kammer enthält auch einen speziellen Vorratsbehälter zur Resistentzündung zur weiteren Verbesserung der Resisthaftung und zur Verhinderung von Resistschälen und Pinlochbildung während des Ätzvorgangs. Der Resistsprüher ist so ausgelegt, dass er die gewünschte Photolackdicke auf das Substrat aufbringt. Das Sprühgerät verwendet Luft, um das Resistmaterial zu zerstäuben und eine gleichmäßige Beschichtung in einer kontrollierten Umgebung zu gewährleisten. Das Gerät ist mit einem speziellen Einstellknopf ausgestattet, um das Sprühmuster und die Tröpfchengröße sowie einstellbare Düsen und Zerstäuber zu steuern. Auf diese Weise kann der Anwender die Sprühanwendung an die genauen Spezifikationen anpassen, die für den jeweiligen Substrattyp erforderlich sind. Schließlich ist die Lichtbelichtungsstation dazu ausgelegt, das Maskendesign auf das Resistmaterial zu übertragen, wodurch eine gemusterte Substratoberfläche entsteht. Die Station ist mit einer hochauflösenden Laserlichtquelle, einer Mikroskopvergrößerungsstufe und einer optionalen Laserausrichtungsmaschine ausgestattet, um die Genauigkeit zu erhalten. Darüber hinaus ist eine spezielle Computer-Vision-Software zur Automatisierung des Belichtungsprozesses und zur Optimierung der Maskenentwicklung für das Photoresist-Tool enthalten. TEL Lithius i + ist ein fortschrittliches und umfassendes Photoresist-Asset. Sein präzises, anpassbares Design liefert den Anwendern hervorragende Ergebnisse bei der Präzisionsmasken- und Substratvorbereitung und -beschichtung. Darüber hinaus erhöhen die automatisierten Funktionen die Benutzerproduktivität und senken die Kosten, indem unnötige manuelle Arbeit vermieden wird. Mit seinen Premium-Eigenschaften ist TOKYO ELECTRON Lithius i + die erste Wahl für Präzisionssubstrataufbereitung und Beschichtung.