Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9032258 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + ist eine Photolackausrüstung für die Halbleiterlithographie. Das System bietet genaue optische Abbildungskomponenten, um professionelle Waferbeschichtungsprozesse zur konsistenten Mikroherstellung von Halbleiterschaltungen zu ermöglichen. Das Gerät wurde entwickelt, um eine konsistentere Leistung im kritischen Schritt der Mikrofertigung zu erzielen. Die Maschine verfügt über zwei Schlüsselkomponenten, eine Hauptkomponente und das Optical Imaging Tool. Die Hauptkomponente ermöglicht eine schnelle und präzise Waferbeschichtung, während die Optical Imaging Asset die optischen Eigenschaften steuert, um eine konsistente Filmabdeckung zu gewährleisten. Das optische Abbildungsmodell umfasst drei verschiedene Module; das Lichtquellenmodul, das Längenschreibmodul und das Strahlsteuerungsmodul. Das Lichtquellenmodul ist für die Erzeugung des im Lithographieverfahren verwendeten Lichts verantwortlich und stellt eine statische Lichtquelle und eine motorisierte Blendensteuerung zur Verfügung, um die Lichtgrößenfläche entsprechend der Mustertechnik zu vergrößern oder zu reduzieren. Das Längenschreibmodul ist verantwortlich für eine genaue Erklärung des zu befolgenden Belichtungsmusters, dies wird verwendet, um überbelichtete Wafer zu vermeiden und kann den Bedarf an Feinabstimmung oder Korrektur reduzieren. Das Beam Control Module ist für die Steuerung der Spaltbreite und Strahlintensität verantwortlich, um die Mustertiefe anzupassen oder den Fokus des Lichts mit maximaler Genauigkeit zu erweitern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über die Knotenkomponente, die für die Genauigkeit des Prozesses wesentlich ist. Diese Komponente ermöglicht es dem Bediener, die Leistung des Systems zu steuern und den Zustand des Geräts zu überwachen, um Qualitätswafer zu produzieren. Schließlich ist die Pattern Transfer Unit die Komponente, die für das Herunterladen und Registrieren von Mustern aus der Quelle verantwortlich ist, so dass sie leicht verfügbar sind, um belichtet zu werden. Insgesamt ist TEL Lithius i + eine ausgezeichnete Fotolackmaschine mit einer Vielzahl von Funktionen, um genaue und qualitativ hochwertige Ergebnisse bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu gewährleisten. Die einfache Integration in den Prozess reduziert den manuellen Eingriff, während seine zuverlässigen Komponenten die Ausbeute an Wafern erhöhen. Das Tool bietet eine Genauigkeit für die Produktentwicklung, die bisher unvorstellbar gewesen wäre.