Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9171607 zu verkaufen
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ID: 9171607
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Coater / Developer system, 12"
Model no: T&H-ME1-4AAZAZZ-01
Wafer type: Notch
Wafer material: Si
Signal tower: ETC (4) Lamps
On-line interface: SECS II / GEM
In-line: Yes
Make: NIKON
Model: NSR
Main controller: Version 4
Layout type: IFB, PSB, CSB (Touch)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + ist eine Photoresist-Ausrüstung, die einen genauen und effizienten lithographischen Prozess bei der Mikrofabrikation von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Es wurde entwickelt, um ein Höchstmaß an Genauigkeit und Produktion bei der Herstellung von Geräten im Millimeter- und Nanometerbereich zu gewährleisten. Das System ist um eine Lithozelle herum aufgebaut, die aus einem Verschluss, einer Linse und einer Belichtungsstrahlquelle mit jeweils digitaler Steuerung besteht. Der Verschluss ist ein fortschrittlicher Piezoaktor, der von einem Controller gesteuert wird, um eine optimale Positionierung und Belichtung zu gewährleisten. Die Linse bietet eine hochauflösende beugende Abbildungsoptik zur Strukturierung auf einem Wafer. Die Nähe der Linse zum Wafer gewährleistet eine hochauflösende Geometrie für den lithographischen Prozess. Die Belichtungsstrahlquelle ist ein Laser, der digitale Optik- und Optikmodelle verwendet, um das optimale Muster auf der Waferoberfläche bereitzustellen. Die Einheit verfügt über eine fokussierte Kurzpulslaserquelle, die zur Erzeugung hochauflösender Muster, sei es zur Mikrofertigung von Wafern oder für laserdirekte Schreibmaterialien verwendet wird. Diese fokussierte Kurzpulslaserquelle ist ideal für viele Anwendungen, einschließlich Änderungen an bestehenden Funktionen auf einem Wafer, Erstellung neuer Funktionen und einer Vielzahl von Anwendungen, die lithographische Genauigkeit erfordern. Die Quelle ist in der Lage, ein Bild auf eine Vielzahl von Materialien ohne Verzerrung oder Beschädigung zu projizieren, wodurch eine breite Palette von lithographischen Fähigkeiten in einer effizienten Weise. Die Maschine umfasst auch eine Reihe weiterer Komponenten, die eine effiziente Fertigungsfähigkeit ermöglichen. Diese Komponenten umfassen die automatische Handhabung von Substratkassetten sowie eine leicht programmierbare Autofokus-Fähigkeit. Der Autofokus sorgt dafür, dass jeder Wafer mit optimaler Genauigkeit belichtet und gemustert wird. Die Steuerungsplattform ist eine ausgeklügelte Benutzeroberfläche, die sehr intuitiv und benutzerfreundlich gestaltet ist und das Werkzeug für viele komplexe Aufgaben geeignet macht, einschließlich Mehrfachbelichtungen, Entwicklung mehrerer Rezepte und Zählen von Komponenten. Der Vermögenswert schließt auch eine Vielfalt von Rückverfolgbarkeitsfähigkeiten, einschließlich der Postaussetzungsanordnung, des Verfolgens und der Hochgeschwindigkeitsoblate warpage Korrektur ein. Dadurch ist es möglich, das Modell auch mit den anspruchsvollsten Fertigungsplänen zu nutzen. TEL Lithius i + ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die effiziente lithografische Lösungen mit unübertroffener Genauigkeit liefert. Die Palette an Komponenten, automatisierten Funktionen und Rückverfolgbarkeitsoptionen stellt sicher, dass das System für eine Vielzahl von Anwendungen und Produktionsanforderungen eingesetzt werden kann.
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