Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293815848 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Lithographieverfahren. Es ermöglicht eine hochpräzise Photoresist-Profilierung, die den hohen Anforderungen von Sub-50nm-Features und Advanced-Node-Halbleiterherstellung entspricht. Das System verfügt über einen hohen Durchsatz von 4x8 "Standard, ultra-hohe Auflösung, um eine breite Palette von erweiterten optischen Fotoresists zu unterstützen, und mehrere Wellenlängen-Bildgebungsoptionen, um Substrate mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften zu unterstützen. Die Pro-I-Einheit bietet eine Reihe von Prozessfähigkeit und fortschrittliche bildgebende Technologie, um die Anforderungen führender Gießereien zu erfüllen. Es verfügt über ultrahohe Linearität, dynamische Bewegungs- und Ausrichtungskorrektur, ausgezeichnete Ungleichmäßigkeit, dynamische Fokuseinstellung und präzises Overlay ohne vorherige Kalibrierung. Es unterstützt auch die automatisierte Substrathandhabung mit einer flexiblen Spur, die die Verarbeitung von Photolack und anderen Materialien mit mehreren Schichten ermöglicht. Mit seinen erweiterten Interferometriefunktionen kann es die Maske präzise auf das Substrat ausrichten und dabei die höchste Genauigkeit beibehalten. Darüber hinaus sorgt die eingebaute Aberrationskorrektur für Profilgenauigkeit und hochauflösende Bildgebung mit einer individuell zugeschnittenen Sammlung von Kompensatoren. Das Pro-I bietet auch eine Reihe von Software- und Hardwareoptionen. Die Automatisierungsfunktionen, Softwaremodelle und die Benutzeroberfläche ermöglichen es dem Benutzer, das Tool an seine Bedürfnisse anzupassen. Es unterstützt auch fortschrittliche Techniken, wie hohe Dosis OAD, um Funktionsdruck über die 0,3 Mikron Größengrenze zu ermöglichen, und Elektronenstrahl-Lithographie für detaillierte Mikromaschinen. Darüber hinaus integriert sich das Pro-I in andere TEL-Prozesse wie die Aligner-Serie, um eine nahtlose Einrichtung und einfache Maschinenbedienung zu ermöglichen. Mit integrierter Bildanalyse und automatischer Belichtung kann es Photomasken vor und nach der Verarbeitung genau identifizieren und übertragen. Es verfügt auch über eine leistungsstarke Python-Ausführungsumgebung und Nachbearbeitungssoftware für automatisierten Workflow. TEL Lithius Pro-I ist die ideale Lösung für Halbleiterhersteller mit fortschrittlichen Anforderungen. Es ermöglicht komplexe Photolackprozesse mit hoher Genauigkeit und bietet eine Reihe von anpassbaren Automatisierungs- und Software-Tools.