Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9296908 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I ist eine Photoresist-Ausrüstung zur lithographischen Bildgebung, Filmentwicklung und Oberflächenreinigung einer Vielzahl von Substraten. Es ist ideal für die Herstellung von integrierten Schaltungen, MEMS, Datenspeicher und anderen präzisen mikroelektronischen Geräten. Das Pro-I besteht aus drei großen Systemen: dem Hauptsystem, dem Gaskasten und der Oberflächenreinigungseinheit. Die Hauptmaschine enthält eine UV-Lichtquelle, einen Schritt-/Scanner für die Bildgebung und eine Vakuumstufe für die Substrathandhabung. Es bietet auch Belichtungsimpulsen, Fokussynchronisation und Filterauswahl. Der Gaskasten bietet die notwendigen Gase zum Photolackbacken, Vorkühlen, Ätzen und Nachkühlen. Das Oberflächenreinigungswerkzeug bietet einen bürstenlosen, plasmabasierten Reinigungsprozess. Die Pro-I kann bis zu 25mm abbilden. Das fokussierende Asset wurde entwickelt, um eine Auflösung von < ± 1,0 μ m und einen Durchsatz von 16MHz aufrechtzuerhalten. Es kann Substrate mit einer Dicke von bis zu 0,5 mm verarbeiten. Die UV-Lichtquelle der Pro-I kann verwendet werden, um Merkmale bis zu 0,5 μ m mit einer maximalen Schichtdicke von bis zu 1,5 μ m zu mustern. Der Pro-I bietet auch optionale Funktionen wie automatische Getriebesteuerung (ATC), einen Wellenformgenerator, eine dielektrische Suszeptor-Heizung und eine Reihe von Belichtungsköpfen für den Einsatz mit verschiedenen UV-Wellenlängen. Es verfügt über ein chemisches Handhabungsmodell, das die Menge der verwendeten Gefahrstoffe reduziert und Chemikalien für die Wiederverwendung recycelt. Es bietet auch eine erweiterte Wafer Stoßen Option verschiedene Arten von Stößen zu unterstützen. Der Pro-I ist eine voll konfigurierbare, robuste und zuverlässige Ausrüstung, die den höchsten Standards der lithographischen Bildgebung und Reinigung entspricht. Es ist einfach zu bedienen und bietet ausgezeichnete Erträge, Wiederholbarkeit und einen hohen Automatisierungsgrad. Es ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für die Herstellung einer Reihe von mikroelektronischen Geräten auf einer Vielzahl von Substraten.