Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #293823961 zu verkaufen

ID: 293823961
Weinlese: 2019
Clean track system 2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V Photoresist Ausrüstung ist aighly angesehene Arbeit Pferd der Lithographie, die verwendet werden kann, um eine Vielzahl von elektronischen Geräten herzustellen. Es wurde entwickelt, um einen dünnen Film aus lichtempfindlichem Material (Photoresist) auf einem mit Chrom- und Goldschichten beschichteten Substrat präzise zu belichten und zu entwickeln. Das System besteht aus einer Elektronenstrahlsäule, einer wärmebehandelten Resisteinheit, einem Aligner und einem Maskenausrichter. Die Elektronenstrahlsäule von TEL Lithius Pro V bietet Energiebereiche von bis zu 1.600 Elektronenvolt. Mit bis zu 3X Auflösung ist die Maschine in der Lage, Funktionsgrößen bis zu 0,5 μ m zu erreichen. Das fortschrittliche Design der Säule ermöglicht einen hohen Durchsatz und sorgt für zuverlässige Lithographieergebnisse. Das erhitzte Resistwerkzeug, auch Wärmebehandlung genannt, sorgt dafür, dass der belichtete Photolack bei maximaler Auflösung erhalten bleibt. Der Resist wird auf 200 ° C erhitzt, bevor er dem Elektronenstrahl ausgesetzt wird, um die Haftfähigkeit auf dem Substrat zu erhöhen. Nach der Belichtung wird der Resist weiter erhitzt, um gleichmäßige Entwicklungen über das gesamte Substrat zu gewährleisten. Die Ausrichter sorgen für exzellente Präzision bei der Belichtung und Auflösung komplexer Mikroskopieaufgaben. Der offene Getriebeausrichter ist in der Lage, Funktionen bis zu 1 μ m aufzulösen. Dies macht es ideal für Anwendungen wie Tunneltransistoren. Der Maskenausrichter dient zur Reproduktion von Mikroplatten oder komplexen Dünnschichtverbindungen. TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV ist vollautomatisiert und mit einer Vielzahl sicherer industrieller Controller und Betriebssysteme kompatibel. Darüber hinaus verfügt das Asset über umfangreiche benutzerfreundliche Schnittstellen und einen Tastaturzugriff. Mit seiner hohen Qualität, Präzision, Konsistenz und Zuverlässigkeit ist LITHIUS PROV eine der beliebtesten Optionen in Photolacksystemen auf der ganzen Welt.
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