Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #9292955 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9292955
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
(4) Coater / (8) Developer system, 12"
CIM: SECS, GEM
Process: 193 nm Immersion
(4) BCT BARC Coaters
(4) ITC
(12) CSWP
(6) CGRA
(4) CADH
(12) CPRP
(5) CHHA
(12) SCPL
WEE
BWEE
(16) FOUPs
Fire suppression
Power box
SHINWA Temperature and Humidity
(2) Chemical cabinets (Solvent, developer)
Handler system:
(4) PRA
CRA
PRAI
IRAI
(2) MPRA
Options:
WISC
WISD
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche Lithographie-Funktionen für eine breite Palette von Anwendungen bereitzustellen, einschließlich Mikroelektronik, Halbleiter und Waferherstellung. Das System verwendet eine hochpräzise optomechanische Einheit mit einer Lichtquelle, Linsen und einer automatisierten beweglichen Bühne, um volumenmusterte Wafer und Nanofabrikation zu optimieren. Im Gegensatz zu herkömmlichen Schrittscannersystemen ermittelt TEL Lithius Pro V mit einem computergesteuerten Algorithmus die genaue Positionierung von Wafern, Linsen und der Lichtquelle während der Strukturierung. Dies ermöglicht enorme Genauigkeiten in Linienbreiten und -höhen und ist sehr effektiv bei der Herstellung von gemusterten Winkeln und dicken Linien. TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV Maschine integriert eine breite Palette von Software und Hardware-Funktionen, einschließlich eines umfassenden Overlay-Ausrichtungskonzept, fortschrittliche Lithographie-Simulationen und Steuerung, und eine Hochleistungs-Bildverarbeitungs-Engine. Das Werkzeug umfasst auch eine Reihe von Kernzubehör, wie eine Lichtquelle, Vakuumkammer und eine benutzerfreundliche Bedienkonsole. Um eine optimale Performance von TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV zu gewährleisten, sind verschiedene Parameter wie Belichtungsenergie, Overlay-Ausrichtungsgenauigkeit und Belichtungssequenz einstellbar und werden durch einen ausgeklügelten Prozess gesteuert, der die Integration einer benutzerfreundlichen GUI, automatisierte Musterung und fortschrittliche Lithographie-Simulation umfasst. Mit dem Modell TEL LITHIUS PROV profitieren Kunden von verbesserten Lithographieerträgen, reduzierter Zykluszeit und höherer Produktqualität. Das Gerät ist auch in der Lage, automatische Ausrichtungskorrekturen, beschleunigtes Backen und Aushärten, sowie präzise Musterung für hochpräzise Geräte, wie Hochleistungslogik und Speichergeräte. Darüber hinaus können Kunden des Lithius Pro V Systems die Vorteile einer verlängerten Tageslichtentwicklungszeit nutzen, da eine Belichtung eine kleine, standortspezifische, schichtspezifische Strukturierung bietet. Mit seiner verbesserten Genauigkeit bietet LITHIUS PROV auch ein hohes Maß an Designflexibilität; ermöglicht Kunden, eine Reihe von Lithographie-Designs auf sogar ihre kompliziertesten Designs zu produzieren. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Lithius Pro V eine fortschrittliche Photoresist-Maschine, die Kunden die Genauigkeit und fehlerfreie Musterung bietet, die sie benötigen, um hochkomplexe und qualitativ hochwertige Produkte in einem Bruchteil der Zeit und Kosten zu erstellen.
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