Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293603809 zu verkaufen

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ID: 293603809
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Coater / Developer system, 12" Process: ArF Dry Factory interface: (5) FOUPs CIM: ECS / GEMSECS / GEM Options: LynxOS / TEL Chiller T/H Controller Coater and developer cabinet Resist cabinet A/C Power box Handler: CRA IRAM (3) PRA 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die für fortschrittliche lithographische Operationen entwickelt wurde. Es verwendet ausgefeilte Bildgebungstechnologie und fortschrittliche Steuerungsalgorithmen, so dass es extrem präzise Photoresists produzieren kann. Mit modernster Optik und fortschrittlicher Automatisierung kann dieses System modernste lithografische Ergebnisse liefern. Mit der integrierten Optikeinheit von TEL Lithius Pro können Lithografen eine Vielzahl von Auflösungen exakt realisieren. Die fortschrittlichen bildgebenden Algorithmen, die optische Maschine und die automatisierten Belichtungsparameter ermöglichen es, Photoresists mit extrem feinen Eigenschaften und minimalen Verzerrungen zu erzeugen. Darüber hinaus hilft ein integrales Feedback-Tool Lithographen, die Stabilität des Assets zu überwachen und zu erhalten. Das Modell verwendet auch extrem schnelle Controller, was sowohl zu hohem Durchsatz als auch zu geringer Latenz führt. TOKYO ELECTRON Lithius Pro bietet automatisierte Kontrolle über Belichtungsparameter, einschließlich Belichtungszeit, Pixelgröße und optische Dichten. Es bietet auch eine Vielzahl von Optionen zur Steuerung des Fotolacks, wie Form und Kantendefinition. Dieses Gerät kann so konfiguriert werden, dass die Parameter pixelweise gesteuert werden, was eine außerordentlich feine Kontrolle ermöglicht. Lithius Pro ist auch für einfache Wartung und Reparatur konzipiert, mit vielen leicht austauschbaren Komponenten. Es bietet Tools für die Überwachung der Systemleistung im Laufe der Zeit, einschließlich einer integrierten Qualitätskontrolleinheit, die hilft, potenzielle Probleme schnell zu erkennen und zu beheben. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro eine hochwertige, fortschrittliche Photolackmaschine. Durch die Kombination von ausgeklügelten Steuerungssystemen und leistungsfähiger Bildgebungstechnologie ist dieses Tool perfekt für Lithografen, die ihre Fotomasken auf die nächste Generation von Genauigkeit und Auflösung schieben möchten.
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