Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9283145 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro
ID: 9283145
Systems 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die bei der Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen und mikroelektronischer Bauelemente verwendet wird. Es ist ein Schlüsselwerkzeug bei der Herstellung von Halbleiterscheiben und wird verwendet, um dünne Ablagerungen oder Dichten verschiedener Materialien zu erzeugen, die dann geätzt und aus dem Wafer entfernt werden, um integrierte Schaltungen zu bilden. Das System ist einzigartig aufgrund seiner fortschrittlichen Sol-Gel-Technologie, die es Anwendern ermöglicht, feinere Funktionen zu schaffen und die Genauigkeit und Auflösung von Abscheidung und Ätzen zu erhöhen. Dies macht es ideal für die Herstellung von kleineren, komplexeren Strukturen und Konstruktionen auf integrierten Schaltungen. Das Gerät verfügt auch über eine geschlossene Resiststeuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, Parameter wie Belichtungszeit und Dampfdruck innerhalb der Maschine genau zu steuern. TEL Lithius Pro kann auch für eine Vielzahl von Verfahren wie Beschichtung, Musterung, Lithographie und Härtung eingesetzt werden. Seine Beschichtungsfunktionen umfassen Spin Coating, pneumatisches Spray und Schlitzdüsensysteme. Das Tool verfügt auch über einen erweiterten OMERLOT (Output Mode Electric Resist Layer) -Prozess, der die Genauigkeit der Resistschichtbildung erhöht. Neben seinen Beschichtungs- und Lithographie-Fähigkeiten umfasst TOKYO ELECTRON Lithius Pro auch Funktionen, die es dem Anwender ermöglichen, die Oberfläche des Substratmaterials zu manipulieren. Dazu gehören Oxidentfernung, CMP (Chemically Mechanical Polishing) und Rückätzen. Alle diese Verfahren können zur Modifizierung der Oberflächentopographie der Halbleiterscheibe verwendet werden, wodurch kompliziertere Strukturen gebildet werden können. Schließlich verfügt die Anlage über ein fortschrittliches Aushärtungsmodell, das hochfrequente Mikrowellen verwendet, um die Aushärtungszeit zu reduzieren und die mit dem Produktionsprozess verbundenen Kosten zu reduzieren. Diese Aushärtungseinrichtung ist auch in der Lage, schnelle Temperierzyklen, die dazu beitragen, dass alle Schichten richtig haften und im Aussehen gleichmäßig bleiben. Insgesamt ist Lithius Pro ein leistungsfähiges Photolacksystem mit einer Vielzahl von Funktionen, die es zu einem wichtigen Werkzeug in der Halbleiterproduktion machen. Es bietet fortschrittliche Beschichtungs- und Lithographie-Fähigkeiten sowie Oberflächentopographie-Steuerung, Aushärtung und andere Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, immer komplexere Designs und Schaltungsstrukturen zu erstellen.
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