Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589532 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die verwendet wird, um nanoskalige Strukturen auf einem Basismaterial wie einem Siliziumwafer zu bauen. Photoresists sind Materialien mit einzigartigen Eigenschaften, die sich ändern, wenn sie bestimmten Wellenlängen des Lichts ausgesetzt werden. Durch die Steuerung der Wellenlänge und Intensität der Lichtbelichtung können Merkmale genau definiert werden. TEL Lithius ist in der Lage, eine Vielzahl von Belichtungstechniken, einschließlich Kontakt, Nähe und Off-Axis. Die Kontaktbelichtung wird für Grundformen oder Öffnungen verwendet, während Nähe und Off-Achse für die Strukturierung komplexer Formen besser geeignet sind. TOKYO ELECTRON Lithius verwendet einen fokussierten Lichtstrahl, um eine hochauflösende Strukturierung mit Submikron-Genauigkeit zu ermöglichen. Dieses System verwendet eine ausgeklügelte optische Einheit mit einer Hochleistungslichtquelle. Die Maschine integriert einen fortschrittlichen Laserscanner, einen spinnenden Polygonspiegel und einen großen Zoombereich. Auf diese Weise wird eine präzise Belichtung von Photoresists gewährleistet, um Strukturen mit hohem Seitenverhältnis zu schaffen. Lithius verfügt auch über fortschrittliche Prozesssteuerungen, wie z. B. die Off-Axis Shift Compensation, die Belichtungsparameter automatisch anpasst, um häufige Probleme bei der Auflösung aufgrund einer außerachsigen Exposition zu verringern. Dieses Tool ermöglicht auch die automatische Ausrichtung von Mustern und die automatische Belichtungssteuerung, um eine präzise und konsistente Replikation von Mustern über den Wafer zu ermöglichen. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist auch mit einer breiten Palette von Photoresists kompatibel und kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, darunter Halbleiter, Silizium, MEMS und NEMS-Geräte und mikrofluidische Systeme. Diese Ressource ist kompakt, flexibel und bietet eine präzise Verarbeitung von nanoskaligen Strukturen. Die Integration eines fortschrittlichen optischen Modells, fortschrittliche Prozesssteuerungen und die Kompatibilität mit einer Reihe von Photoresists machen TEL Lithius zu einer idealen Lösung für die Erstellung von nanoskaligen Strukturen.