Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589534 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 293589534
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Coater / Developer system, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Photolithographie verwendet wird, ein Verfahren zur Herstellung integrierter Schaltungen und anderer Systeme, die in der Elektronikindustrie verwendet werden. TEL Lithius-System verwendet Licht durch ein Retikel, um Schaltungsmuster auf Photolackschichten zu projizieren. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das verwendet wird, um elektronische Schaltungen zu erzeugen. Es ist ein Polymermaterial, das sich chemisch verändert, wenn es Licht ausgesetzt wird, wodurch es die Form des projizierten Musters annimmt. Das Verfahren beginnt mit der Abscheidung einer Polymerschicht auf der Oberfläche, auf der der Kreislauf aufgebaut wird. Die Photolackschicht besteht aus einem lichtempfindlichen Film, der auf ein Substrat aufgebracht ist. Der nächste Schritt des Photolithographie-Prozesses besteht darin, eine Maske (ein Retikel genannt) über dem Substrat zu erzeugen, die die Schaltungen enthält, die erstellt werden müssen. Die Maske wird aus einem Design erstellt, das von der Photolithographieeinheit verwendet wird. Um die Schaltungen auf die Photolackschichten zu projizieren, wird die Maske auf die Photolackschicht ausgerichtet und zur Belichtung des Photolackmaterials eine Reihe von Lichtquellen verwendet. TOKYO ELECTRON Lithius Maschine verwendet ein optimiertes Design für die Beleuchtung von Photoresists. Sie sorgt dafür, dass Licht ganzflächig effizient durchgelassen wird und sorgt für eine gleichmäßige Belichtung des Fotolacks. Dieser Vorgang führt zu einer genauen Nachbildung des Maskenmusters auf dem Photolack. Nach Beendigung des Belichtungsprozesses wird der Photolack entwickelt, was zu einer undurchsichtigen Schicht führt. Diese Fotolackmaske wird dann wie sie ist beibehalten und zum Ätzen der Schaltung auf das Substrat verwendet. Zur Vervollständigung der Schaltungsmuster wird ein Trocken- oder Nassätzen verwendet, um das Muster auf das Substrat zu ätzen. Der Ätzvorgang wird entweder mit einer chemischen Lösung durchgeführt, die die freiliegenden Bereiche entfernt, oder mit einem mechanischen Werkzeug wie einer Vorrichtung oder einem Bohrer, um das Material wegzuschneiden. Nach dem Ätzen wird die Fotolackmaske entfernt, wodurch sich das fertige Schaltungsmuster auf dem Substrat ergibt. Lithius-Tool bietet zuverlässige, genaue und wiederholbare Ergebnisse, da es eine gleichmäßige Belichtung des Fotolacks gewährleistet und genaue, präzise Muster erzeugt werden können. Es ist ein hocheffizienter und automatisierter Prozess, der bei der Herstellung elektronischer Systeme in der Elektronikindustrie eingesetzt wird.
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