Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595672 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 293595672
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Coater / Developer systems, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit zuverlässigen elektrischen Eigenschaften. Das System besteht aus vier modularen Komponenten: einem Substrathalter, einem Scanner, einer Lichtquelle und einer Steuereinheit. Der Substrathalter hält einen Halbleiterwafer. Sie ist dazu ausgelegt, den Wafer in einer kontrollierten Umgebung zu positionieren und zu drehen, um die gleichmäßige Beschichtung des lichtempfindlichen Photoresistmaterials auf der Oberfläche des Wafers zu gewährleisten. Der Scanner ist für die Belichtung des Photolackmaterials verantwortlich. Es besteht aus einer motorisierten Stufe mit einem x-y Gantry, der den Wafer linear bewegt und die Dosis, Polarisation, Größe und Form des Beleuchtungsstrahls genau steuert. Die Lichtquelle ist für die Erzeugung des Beleuchtungsstrahls und die Steuerung seiner Intensität und Form zuständig. Eine häufig verwendete Lichtquelle ist ein lasergetriebener Elektronenstrahl. Das Steuergerät ist das Herzstück der Einheit. Es ist verantwortlich für die Steuerung und Verwaltung des gesamten Photolackprozesses. Es liefert Informationen zu den anderen Komponenten, leitet den gesamten Workflow und sammelt Daten über das Fotolackmaterial. Durch den Einsatz der oben genannten Maschinenkomponenten ist TEL Lithius in der Lage, Halbleiterbauelemente mit hoher Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit herzustellen. Dieses Werkzeug ist in der Lage, hochkomplexe Muster, dichte Strukturen und sogar Submikron-Strukturen zu erzeugen. Darüber hinaus kann der Prozess vollständig automatisiert werden, bietet eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Muster. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Lithius eine zuverlässige und hocheffiziente Photolackanlage, die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit überlegenen elektrischen Eigenschaften verwendet wird.
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