Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293609337 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Beschichtungsanlage für den Einsatz in der Submikron-Halbleitergerätebearbeitung. TEL Lithius ist ein fortschrittliches Photoresist-System des japanischen Industrielieferanten TEL. Es wurde entwickelt, um Schaltungen im Submikron-Maßstab auf Halbleiterscheiben zu replizieren, zu schneiden und zu trennen. Diese Photolackeinheit ist die modernste Halbleiterbauelementverarbeitung, die einen akribischen Prozess zur Erzeugung komplizierter Miniaturschaltungen ermöglicht. Die Maschine arbeitet, indem sie zuerst die Halbleiterscheiben mit einer dünnen Schicht aus Photolackmaterial beschichtet. Diese Materialien durchlaufen dann einen kurzen Spin-Coating-Prozess, um den Film zu ebnen, bevor sie ultraviolettem Licht ausgesetzt werden - diese Belichtung „schreibt“ die Spezifikationen auf den belichteten Film auf. Die durch das ultraviolette Licht getroffenen Bereiche des Photoresistmaterials werden verhärtet und ätzfest. Der Photolack wird dann gewaschen, um ungehärtetes Material zu entfernen - dieser Waschvorgang „fixiert“ auch die Spezifikationen in die Resistschicht. Das Photowiderstehen, die verwendet werden, wird besonders formuliert, um an der anspruchsvollen Mustertoleranz festzuhalten, die für die Submikronhalbleitergerätverarbeitung erforderlich ist. Die Komponenten jeder Photoresist-Formulierung können auf die Bedürfnisse jedes Substrats zugeschnitten werden, um eine höchstmögliche Auflösung und Qualität sowohl während der Belichtungs- als auch der Verarbeitungsstufen zu gewährleisten. Nachdem der beschichtete Wafer dem ultravioletten Licht ausgesetzt und anschließend gewaschen wird, ist die Photoresistschicht dann zur 'Entwicklung' bereit. In diesem Schritt wird die Resistschicht einer Reaktion unterzogen, die ungehärtete, ungeschützte Abschnitte entfernt. Die daraus resultierende „entwickelte“ Resist-Schicht, die verbleibt, ist eine Darstellung der angegebenen Schaltung, bereit zum Ätzen auf die Vorrichtung. Schließlich wird nach Beendigung des Ätzprozesses und der Readierung der Vorrichtung die Photolackschicht abgestreift und entfernt. TOKYO ELECTRON Lithius-Werkzeug verwendet spezielle Techniken, die sicherstellen, dass der Fotolack nie überstrippt wird, wodurch Schäden am Gerät vermieden werden. Zusammenfassend stellt Lithius Photoresist Asset einen präzisen und komplizierten Prozess zur Verfügung, mit dem Schaltungen im Submikron-Maßstab auf Halbleiterscheiben erstellt werden. Es verwendet speziell formulierte Photoresists und ein Spin-Coating-Verfahren, so dass die Halbleiterbauelemente ultraviolettem Licht ausgesetzt und „entwickelt“ werden können, um die vorgegebene Schaltung zu replizieren. Es ist ein modernes Modell, das die höchste Qualität der Miniaturschaltung für Halbleiterbauelemente im Sub-Micron-Maßstab gewährleistet.