Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615016 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in Lithographieverfahren zur Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen wie Halbleitern und integrierten Schaltungen. Dieses System eignet sich gut für großvolumige, großflächige Belichtungsprozesse und ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten. Das Gerät nutzt eine Vielzahl von Excimer- und LED-UV-Lichtquellen von 200 bis 400 Nanometern Wellenlänge und ermöglicht Belichtungsdosen von 0,5 bis 10 mJ/cm2. TEL Lithius verfügt über eine automatische Belichtungsoptimierung, die eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und Genauigkeit für kritische Merkmale bietet. Dieses Werkzeug wird mit einem Hochleistungs-, Hochleistungslaserscanner ausgestattet, der dazu fähig ist, Bereiche so groß zu scannen, wie 40 Zoll. Die Belichtungsgenauigkeit des Scanners beträgt 0,765 Mikrometer und seine Abtastgeschwindigkeit kann bis zu 6 Zoll pro Sekunde erreichen. Zum Asset gehört auch ein Hochleistungs-Belichtungsregler mit vielen verschiedenen Funktionen wie Dosissteuerung, Maskenausrichtung und Musterinspektion. Das Steuermodell gewährleistet eine hohe Produktivität durch gleichzeitige Belichtung mehrerer Feldpositionen und unterstützt eine Reihe von Funktionsgrößen bis zu 0,25 Mikron. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON Lithius Ausrüstung konform mit SEMI-Standard E75, die eine Vielzahl von Entwicklungsmethoden ermöglicht, einschließlich Nass- oder Trockenentwicklung. Lithius-System verfügt über mehrere Merkmale, die die Qualität der hergestellten mikroelektronischen Komponenten sichern. Sensoren am Gerät erkennen das Vorhandensein von Staub und anderen Partikeln und warnen den Bediener, falls vorhanden. Darüber hinaus ist die Maschine entworfen, um den Stromverbrauch zu reduzieren und ihr selbstreinigendes UV-Quellensteuerungswerkzeug verhindert, dass die UV-Quelle aufgrund von Staubverschmutzung ein fehlerhaftes Muster erzeugt. Schließlich verfügt das Asset über eine zusätzliche offene Entwicklungsoption, die zusätzliche Flexibilität im Photolackprozess ermöglicht. Insgesamt ist das Modell TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Photoresist ein effektives Werkzeug für die Herstellung mikroelektronischer Komponenten. Es eignet sich hervorragend für die Fertigung in hohen Stückzahlen und ist dank seiner automatisierten Belichtungsoptimierung und Staubverunreinigungssysteme in der Lage, konsistente, zuverlässige Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus erhöhen die SEMI-Standardkonformität und die Offenheit für eine Vielzahl von Entwicklungsmethoden die Flexibilität der Ausrüstung, sodass sie den individuellen Anforderungen des Produktionsprozesses entspricht.