Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763044 zu verkaufen

ID: 293763044
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Coater / Developer system, 12" (2) Block machines CIM: SECS Handler system: Robot (CRA, PRA, (3) IRAM, IRAS) Factory interface: (5) FOUP (2) Temperature controllers (3) Cabinets: Coater Resist Developer Power box 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Mehrwinkel-Fotoresist-Ausrüstung, die von TEL (TOKYO ELECTRON) entwickelt und hergestellt wurde, um Halbleiterherstellern die genaue Herstellung feiner Strukturen und die Durchführung lithographischer Musterarbeiten zu ermöglichen. Dieses System arbeitet durch Laserscannen einer Oberfläche in verschiedenen Winkeln und Projizieren eines Bildes auf das Substrat mit einer Substratstufe, die eine hohe Präzision hat. Die Substratstufe ist in der Lage, Geschwindigkeit und Richtung zu variieren, so dass eine Vielzahl von Parametern im Ätz- und Musterprozess verwendet werden kann. Dann wird lichtempfindlicher Photolack auf das Substrat aufgebracht und das vom Laserstrahl abgetastete Bild bildet ein Muster auf dem Photolack. Dieses Muster wird zusammen mit den ursprünglichen Linsenabtastungen mit einem Elektronenstrahl verwendet, um bestimmte Bereiche des Substrats selektiv zu ätzen. TEL Lithius-Einheit verfügt über hochauflösende Funktionen, so dass Muster von Funktionen mit einer Größe von bis zu 28 Nanometern konsistent erstellt werden können. Mit dieser extrem feinen Auflösung und hohen Genauigkeit ist diese Maschine in der Lage, ein hohes Maß an Kontrolle über die Ätz- und Musterprozesse aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus verfügt dieses Werkzeug auch über mehrere Strukturierungsebenen, wodurch mehrere Strukturschichten auf dem Substrat hergestellt werden können. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Modifikationen und Verfeinerungen im Layout, was bei der Behebung potenzieller Designfehler äußerst hilfreich sein kann. Während TOKYO ELECTRON Lithius Asset für den Einsatz in der Halbleiterherstellung konzipiert ist, kann es auch für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, die Ätz-, Photolithographie- oder Beschichtungsprozesse umfassen. Dieses sichere, zuverlässige Modell verfügt auch über erweiterte Überwachungsfunktionen, die sicherstellen, dass jede Phase des Prozesses reibungslos abläuft. Es verfügt auch über mehrere Kommunikationsports für eine sichere Kommunikation mit anderen Systemen sowie eine Reihe weiterer zuverlässiger Sicherheitsmaßnahmen. Lithius Geräte sind eine unglaublich zuverlässige und sichere Lösung für eine Vielzahl von Ätz-, Photolithographie- und Beschichtungsprozessen. Seine erweiterten Eigenschaften, hochauflösende Fähigkeiten und verschiedene Sicherheitsmerkmale machen es zu einer ausgezeichneten Quelle für die Halbleiterherstellung.
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