Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763045 zu verkaufen

ID: 293763045
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Coater / Developer system, 12" (2) Block machines CRA robot PRA robot (3) IRAM robots IRAS robot (5) Front Opening Unified Pods (FOUP) (2) Temperature controllers (3) Cabinets: Resist Developer Coater Power box 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine hochentwickelte Photoresist-Ausrüstung von TEL, auch bekannt als TOKYO ELECTRON. TEL Lithius System wurde als Werkzeug für verschiedene Lithographieanwendungen wie Display und Logic Integrated Circuit (IC) Fertigung entwickelt. Das Gerät ermöglicht eine präzise Strukturierung verschiedener Dünnschichtmaterialien sowie Photolackprodukte. TOKYO ELECTRON Lithius Maschine kommt mit mehreren erweiterten Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, schnell und präzise eine breite Palette von Dünnschichtmaterialien zu mustern. Das Tool ist mit einer dynamischen Fokussteuerung ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, den Fokus des Assets genau und schnell auf eine möglichst hohe Mustergenauigkeit einzustellen. Es verfügt außerdem über einen programmierbaren Waferträger, der es dem Benutzer ermöglicht, den Wafer mit minimalem manuellen Eingriff in die gewünschte Position zu bringen. Bei der Verwendung des Lithius-Modells können Benutzer aus zwei verschiedenen Maskentypen wählen. Die erste ist eine kleine Maske, die zur Strukturierung kleiner Bereiche des Wafers verwendet wird. Die zweite ist eine große Maske, die zur Strukturierung größerer Flächen verwendet werden kann. Benutzer können aus einer Vielzahl von Expositionsgewohnheiten wählen, einschließlich einzelner und mehrerer Expositionszyklen. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine Vielzahl von Laserleistungseinstellungen, mit denen Benutzer die für ihre jeweilige Anwendung benötigte Leistung einstellen können. Das System bietet auch eine Reihe von Objektivoptionen zur Optimierung der Musterleistung für verschiedene Anwendungen. Die Objektivgröße und das Design können angepasst werden, um die Auflösung der Funktionen für die Anwendung zu maximieren. Darüber hinaus können Anwender aus einer Reihe von Beleuchtungsquellen auswählen und die ISO-Zieldosen sammeln. Das Gerät enthält auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um Bediener und Benutzer sicher zu halten, einschließlich mehrerer Sicherheitssensoren, die die Luftqualität und die Temperatur der Maschine überwachen. Das Tool gibt auch einen lauten Alarm aus, um Betreiber und Benutzer wissen zu lassen, ob das Asset ein unsicheres Niveau erreicht. Schließlich enthält das Modell ein robustes Wartungs- und Kalibrierprogramm, um die Geräte optimal am Laufen zu halten. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ein hochentwickeltes und zuverlässiges Photolacksystem, das es Anwendern ermöglicht, kleine und große Flächen von Dünnschichtmaterialien schnell und präzise zu strukturieren. Das Gerät bietet eine Reihe von Funktionen, mit denen Benutzer den Fokus anpassen, Belichtungszyklen auswählen und eine Reihe von Objektiv- und Beleuchtungseinstellungen festlegen können. Darüber hinaus verfügt die Maschine über zahlreiche Sicherheitsmerkmale, um die Sicherheit des Bedieners zu gewährleisten. Schließlich ist TEL Lithius ein äußerst intuitives und zuverlässiges Werkzeug für Lithographieanwendungen.
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