Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293814758 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 293814758
(2) Coater / (2) Developer systems.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine branchenführende Photolackausrüstung für Halbleiteranwendungen. Ein Photolacksystem ermöglicht die Verwendung einer lichtempfindlichen Chemikalie, die physikalischen und/oder chemischen Reaktionen unterliegt, wenn sie ultravioletter (UV) -Strahlung ausgesetzt ist. Dies eröffnet eine Vielzahl von Anwendungen wie Lithographie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen und Strukturierung. TEL Lithius bietet eine verbesserte Steuerung und Optimierung des Photopatterns. Es verwendet ein schwenkbares Design mit einem schmalen Strahl aus UV-Licht, das auf die Resistschicht fokussiert ist. Die Sonnenenergie wird dann in chemische Energie umgewandelt, die die Photolackreaktion auslöst. TOKYO ELECTRON Lithius Maschine bietet überlegene Präzision, die kleinere Gerätegrößen, schnellere Zykluszeiten und höhere Erträge ermöglicht. Lithius-Werkzeug ist aus robustem Material gefertigt und speziell für optimale Ergebnisse in der Halbleiterherstellung entwickelt. Die präzisionsorientierten Komponenten der Anlage sind luftdicht, ohne freiliegende mechanische oder elektrische Teile. Dies ermöglicht einen zuverlässigen und gleichbleibenden Betrieb bei minimaler Wartung. Darüber hinaus ist das Modell kompakt und effizient, mit einem hochauflösenden Betrieb, der einfach auf mehrere Anwendungen angewendet werden kann. Der Betrieb von TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist schnell und präzise. Mit einer fortschrittlichen Kühlausrüstung kann das System Hotspots innerhalb der Resistmaske reduzieren. Dies verbessert die Genauigkeit des Resistmusters, vermeidet Geräteverzerrungen und minimiert chemische Abfälle. Darüber hinaus verfügt das Gerät über mehrere Optionen zur Steuerung der UV-Lichtleistung, die eine präzise Steuerung der Photolackreaktion für verschiedene Anwendungen ermöglichen. Um eine präzise Lithographie und gute Photoresistergebnisse zu gewährleisten, verfügt TEL Lithius über eine Reihe ausgeklügelter Detektions- und Überwachungssysteme. Dazu gehören ein bildgebendes Werkzeug, ein Elektrodenüberwachungsgerät und ein optischer Leistungsmonitor. Das bildgebende Modell ermöglicht es Benutzern, den Prozess zu überwachen und bei Bedarf Anpassungen vorzunehmen. Der optische Leistungsmonitor kann genaue Werte der UV-Lichtintensität erfassen und beibehalten, um die Resistmusterung zu optimieren. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Lithius eine leistungsstarke Photolackausrüstung, die hochgenaue Ergebnisse liefern kann. Es ist für mehrere Halbleiteranwendungen geeignet und ermöglicht eine einfache Steuerung und Überwachung des Prozesses. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und umfassenden Systemen bietet Lithius eine hervorragende Plattform für Fotopatterie und Lithographie.
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