Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293821715 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 293821715
Weinlese: 2006-2007
Coater / Developer systems 2006-2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine von TEL Ltd. entwickelte Photoresist-Ausrüstung. (TOKYO ELECTRON) zur Verwendung bei der Herstellung integrierter Schaltungen (ICs). Das System besteht aus mehreren Bestandteilen einschließlich Hogenauigkeitsaussetzungsausrüstung, Hochleistungspräzisionsentwicklungszisternen, Oberflächenbehandlungsausrüstung und Steindruckverfahrensoftware. Zu Beginn des Photolithographieverfahrens wird ein „Photolack“ auf eine Halbleiterscheibe aufgebracht. Der Photolack ist ein lichtempfindliches Material, das für ultraviolette oder andere Strahlung empfindlich ist, je nach Art des verwendeten Photolacks. Das hochgenaue Belichtungsgerät mit TEL Lithius-Einheit belichtet den Photolack präzise. Diese Ausrüstung besteht aus einer hochstabilen Vakuumdichtungs-Prozessumgebung mit einer speziellen Lampenlichtquelle, die auf einer gleichmäßigen Temperatur gehalten wird, was die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Belichtung gewährleistet. Die Maschine schließt auch eine Hochleistungspräzisionsentwicklungszisterne ein, die den Höchststand der Präzision in der Entwicklung des Photowiderstehens bietet. Der Präzisionsentwicklungstank ist mit einem hochgenauen Substratpositionierungswerkzeug ausgestattet, das eine präzise Ausrichtung des Wafers ermöglicht. Neben der Photoresist-Entwicklung umfasst TOKYO ELECTRON Lithius auch ein Oberflächenbehandlungsmodul. Dieses Modul dient zum Schruppen, Naßreinigen und Entfetten sowie Trockenplasmaätzen, die alle für die Bildung der gewünschten Photolackschicht erforderlich sind. Im Vergleich zu anderen bestehenden Systemen bietet das Lithius-Modell nicht nur höchste Genauigkeit, sondern reduziert auch die Prozesszeit für den Photolithographieprozess. Damit können Halbleiterunternehmen ICs schneller und kostengünstiger herstellen als bisher. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ein umfassendes Photolithographiesystem, das von TEL/TOKYO ELECTRON Ltd. (TEL) für die IC-Produktion. Die Einheit besteht aus verschiedenen Bestandteilen einschließlich Hogenauigkeitsaussetzungsausrüstung, Hochleistungspräzisionsentwicklungszisternen, Oberflächenbehandlungsausrüstung und Steindruckverfahrensoftware. Mit ihrer hohen Genauigkeit und Geschwindigkeit ermöglicht die Maschine die Produktion von ICs zu niedrigeren Kosten und schneller als je zuvor.
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