Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102163 zu verkaufen

ID: 9102163
Electron Cassette Career Station Block (CSB) Copper Exposed Career Station Block Robotics Arm CRA (4) Front Opening Unified Pods (FOUP) (4) Mapping Units Motion Control Unit Mitsubishi Computer.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist ein Photoresist-Gerät, das mit Beleuchtungsmitteln Lithographiemuster auf Wafersubstraten bei der Erfindung von Halbleiterbauelementen erzeugt. Es wurde entwickelt, um die Zeit zu reduzieren, die benötigt wird, um ein Lithographiemuster auf einem Wafersubstrat zu erstellen und schärfere, präzisere Lithographiemuster zu erzeugen. Um diese hochpräzisen Muster zu erstellen, verwendet TEL Lithius-System eine Kombination aus integrierter Optik, fortschrittlichen Lichtquellen, einer Lichtübertragungseinheit und proprietären Lithographietechnologien einschließlich Elektronenstrahlbelichtung und I-line, Deep UV- und EUV-Beleuchtungsquellen. Mit diesen Technologien kann die Maschine großflächig dichte, gleichmäßige und hochpräzise Lithographiemuster erzeugen. Die integrierte Optik ermöglicht es den Lichtquellen, sehr präzise, lokalisierte Muster zu erzeugen, und das Lichtübertragungswerkzeug hilft, das Licht so genau wie möglich zu übertragen. Die Lithographie nutzt auch mehrere proprietäre Technologien einschließlich seiner Elektronenstrahl-Belichtungstechnologie, die hochkonzentrierte Elektronenstrahlen nutzt, um großflächig Muster zu erzeugen. Es verwendet auch I-line, tiefe UV- und EUV-Beleuchtungsquellen mit Wellenlängenemission von 248 nm bis 13,5 nm. Das Modell verfügt auch über eine Reihe von Overlay-Genauigkeits- und Prozesskontrollfunktionen, einschließlich automatisierter Wafer-Zuordnung, Scan-Winkelregelung und Temperaturkompensation. Zusammen tragen diese Merkmale dazu bei, dass die vom Lithographiegerät erzeugten Muster genau und präzise sind. TOKYO ELECTRON Lithius ist als hocheffizientes System zur Strukturierung von Wafersubstraten konzipiert. Die Kombination aus integrierter Optik, Lichtquellen und proprietären Technologien trägt dazu bei, extrem präzise Lithographiemuster zu erstellen, wodurch der Zeitaufwand für die Strukturierung reduziert wird. Das Gerät ist auch hochgenau, mit automatisierten Wafer-Mapping und anderen Funktionen, um sicherzustellen, dass Muster präzise und einheitlich sind. Zusammen machen diese Funktionen Lithius zu einer idealen Maschine für die Erstellung hochwertiger Lithographiemuster.
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