Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105625 zu verkaufen
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ID: 9105625
Develop Process Station
P/N: DEV ASSY
Includes:
FRAME ASSY BASE - 5085-412352-13
BASE(MIDDLE) ASSY - 5085-412349-12
CUPBASE ASSY - 5087-404181-12
3PIN ASSY - 5087-403368-12
COVER(CUPBASE) ASSY - 5085-409612-15
OUTCUP ASSY - 5087-401364-13
ARM(L) ASSY - 5087-400475-16
BASE(SCAN) ASSY - 5085-412389-11
MOTOR(L) ASSY - 5087-402854-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
WASHERNOZZLE ASSY - 5085-405111-11
AIR OPE ASSY(BR) - 5085-407386-16
SCAN(ARM-B) ASSY - 5087-403489-15
COVER ASSY - 5085-412524-12
FRONTBOX ASSY - 5085-412353-13
E-BOX(DEV) ASSY - 5087-403481-11
SUPPORT ASSY - 5085-412354-13
FRAME ASSY MOTOR - 5087-400478-15
DUCT(DEV)ASSY - 5085-412380-13
CHUCK(SS) ASSY - 5085-411385-11
ARM(R) ASSY - 5087-400476-16
MOTOR(R) ASSY - 5087-400477-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
NOZZLE TOP(NLD) ASSY - 5085-413053-11
LD BATH ASSY - 5085-404315-17
SUPPORT ASSY(NLD) - 5085-401943-11
WATERBLOCK ASSY(NLD) - 5085-404692-14
VALVE ASSY(AMF) - 5087-400486-15
CUP ASSY (LD) - 5085-409683-13
MANIFOLD ASSY (4LINE) - 5085-404368-13
SOLENOID(BLOCK) ASSY - 5085-408453-11
GUIDE(SCAN) ASSY - 5085-409482-11.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiterbauelementen und Displays eingesetzt wird. TEL Lithius bietet mit seinem fortschrittlichen Lithographiesystem eine hochpräzise Materialabscheidung und Feinmusterung. Die Einheit basiert auf einem hochauflösenden Projektor, der ein chemisch reaktives Lichtbild auf das abgeschiedene Dünnschichtmaterial projiziert, wodurch ein Muster mit hoher Präzision entsteht. Darüber hinaus ist der Projektor mit einem mehrdimensionalen Laser synchronisiert, um eine optimale Auflösung zu gewährleisten. Diese Maschine kann verwendet werden, um komplizierte Designs mit einer minimalen Auflösung der Merkmalsgröße von 0,1 µm oder weniger zu produzieren. Durch eine Kombination aus Naßätzen und chemischem Ätzen wird der Photoresistrückstand leicht entfernt. Dadurch wird sichergestellt, dass der Restfotolack nicht auf andere Teile der Vorrichtung übertragen wird, was zu elektrischen Ausfällen und anderen Produktionsfehlern führen könnte. TOKYO ELECTRON Lithius-Tool enthält auch eine erweiterte Steuerung für präzise Filmabscheidung und Strukturierung. Die Modellsoftware kann eine Reihe von Parametern steuern, wie die Laser-Projektor-Synchronisation, die Ätzparameter und andere Geräteeinstellungen. Darüber hinaus ermöglicht die Systemsoftware die Integration in externe Datenbanken, um Daten zur schnellen Optimierung der Produktionsparameter bereitzustellen. Darüber hinaus enthält die Einheit eine hochpräzise Vakuumkammer, die eine optimale Atmosphärensteuerung für die Entwicklung und Verarbeitung der Photolackschicht ermöglicht. Diese Vakuumkammer reduziert auch Luftblasen und Restfotoresist. Schließlich verfügt Lithius über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine einfache und intuitive Bedienung ermöglicht. Der Benutzer kann auch eine Reihenfolge für das Werkzeug anpassen, um ein einzelnes Material oder mehrere Materialien gleichzeitig zu verarbeiten, sowie um den Fortschritt des Produktionsprozesses mit einem eingebauten Monitor zu überwachen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Asset ein fortschrittliches Photoresist-Modell für hochpräzise Materialabscheidung und Feinmusterung, das sehr anpassbar ist und eine optimale Atmosphärensteuerung für die Entwicklung und Verarbeitung von Photoresist bietet.
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