Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105630 zu verkaufen
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ID: 9105630
Process Block Robotics Arm
P/N: PRA ASSY
Includes:
010-204079-11 FORK(200),PRA 1
5010-307799-13 BLOCK(200),PRA 3
020-005778-1 CAP SCREW CBSST4-8 3
020-002601-1 BAIND SCREW M3*4 SUS304 6
032-000585-1 FLAT WASHER M4 1L SUS304 3
5010-308529-11 PLATE(1-200),HEAT SHILED 1
5010-406949-11 SUPPORT(X-1) 1
5010-308530-11 PLATE(2-200),HEAT SHILED 1
5010-302404-11 FRAME 1
020-000028-1 CAP SCREW M4*6 SUS304 2
020-007602-1 TORX CAP SCREW M4*8 SUS304 2
020-002913-1 CAP SCREW M4*8 SUS304 W/SPR & FLAT WASHER 2
032-000011-1 FLAT WASHER M4 SUS304 POLISHED ROUND 2
032-000058-1 SPRING WASHER M4 SUS304 2
5010-101146-12 BASE,(X)UPPER 1
5010-101147-13 BASE(X),LOWER 1
5004-400017-12 ARM(X1-1) (509510045511 1
5010-305344-11 SUPPORT(X1-1) 1
5004-400018-11 ARM(X2-1) (509510045511 1
5010-306532-11 ARM(X2-2) 1
5010-305345-12 SUPPORT(X2-1) 1
5004-400019-11 ARM(X3-1) (509510045511 1
5010-306533-11 ARM(X3-2) 1
5010-305346-11 SUPPORT(X3-1) 1
5004-400015-11 CLAMP,BELT (509510045411 6
5010-401565-12 PLATE 5
5010-404925-11 STOPPER(X-1) 3
5010-404926-11 STOPPER(X-2) 6
5010-305873-11 SUPPORT(X-2) 1
5010-305987-11 SUPPORT(X2-2) 1
5010-306512-12 STAY,SUPPORT 1
5010-405028-11 COVER,CABLE 1
5010-404472-11 COVER,SENSOR 1
5010-405427-11 PILLER(1) 2
5010-405428-11 PILLER(2) 4
5010-307086-12 PLATE(1),SIDE 1
5010-306535-12 PLATE(2),SIDE 1
5010-306536-12 PLATE(3),SIDE 1
5010-404927-11 BLOCK,AJUST 2
5010-405430-12 SHUTTER(X) 3
5010-405429-12 BRACKET,SUPPORT 1
5010-408761-11 SHUTTER(TH) 1.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Belichtung von Halbleitersubstraten und anderen Wafer-Level-Bauelementen. Photoresist-Systeme ermöglichen die Erstellung verschiedener Muster auf Substraten, die die Entwicklung hochleistungsfähiger elektronischer Komponenten mit hoher Präzision und Genauigkeit ermöglichen. Das TEL Lithius-System verwendet eine EUV (Extreme Ultraviolet) -Lichtquelle, um die Lithographie von 0.3um Gerätefunktionen zu ermöglichen und Maskenfehler mit einer Größe von bis zu 0,2um zu erkennen. Das Gerät verfügt über eine automatisierte Maskeninspektionskammer, die präzise Abtastoptiken mit geringer Aberration (Unschärfe) verwendet, um Fehler in der Maske zu erkennen. Die Maschine verwendet außerdem ein Rückhaltemagnetwerkzeug, um das Verschieben der Maske während der Belichtung zu verhindern. Das Asset unterstützt verschiedene Belichtungsmodi und ermöglicht eine optimale Strukturierung von Substraten. Beispielsweise ermöglicht der One-Shot-Belichtungsmodus die gleichzeitige Belichtung mehrerer Geräte mit einer Maske. Der hochauflösende Spot-Belichtungsmodus ermöglicht die Belichtung einzelner Pixel mit einer höheren Auflösung als bei herkömmlichen Schrittsystemen. Darüber hinaus ermöglicht der Mehrfachbelichtungsmodus die Anpassung der Lichtintensität an die Bedingungen des Substrats. TOKYO ELECTRON Lithius Modell ist für einfache Bedienung konzipiert. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die benutzerfreundlich gestaltet ist und es dem Bediener ermöglicht, die Ausrüstung schnell zu beherrschen. Es hat auch eine hohe Geschwindigkeit und hochpräzise Autofokus-Funktion, die schnellere Fokussierungszeit und verbesserte Genauigkeit bietet. Darüber hinaus verfügt das System über eine automatische Kalibrierungsfunktion, wodurch keine manuelle Kalibrierung erforderlich ist. Schließlich ist Lithius-Einheit sehr zuverlässig, mit modularer Architektur für hohe Geschwindigkeit und Leistung optimiert. Es verfügt über ein flexibles erweiterbares Design, so dass die Maschine aktualisiert werden kann, um zukünftige Anforderungen zu erfüllen. Das Tool verfügt auch über integrierte Umwelt- und Sicherheitsmaßnahmen, die eine sichere und gesunde Arbeitsumgebung für alle Benutzer bieten.
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