Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105632 zu verkaufen
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ID: 9105632
Lithius CSB Robot Arm
P/N: CRA Assembly
Includes:
X AXIS(CRA)ASSY,IPL - 5085-404813-11
Y AXIS(CRA)ASSY,IPL - 5085-404809-11
Z AXIS(CRA)ASSY,IPL - 5085-404811-11
THETA AXIS(CRA)ASSY,IPL - 5085-404812-11
ALIGNMENT(CRA)ASSY,IPL - 5085-413390-11
POST(CRA)ASSY,IPL - 5085-404817-11
FORK ASSY,CRA - 5085-412474-11.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Lithographielösungen für eine Reihe von Anwendungen zu verbessern. Dieses System kombiniert eine optische Quelle mit einer patentierten Trockenresisteinheit, um Muster auf dem Wafer mit höherer Präzision als die traditionelle Nassentwicklung zu erstellen. Die Maschine nutzt eine hochintensive UV-Lichtquelle mit einem ausgeklügelten optischen Werkzeug für ein gleichmäßiges Beleuchtungsfeld. Die aufgebrachten Resists sind trocken verarbeitbar und reaktiv auf das Licht in einer nicht in Nassentwicklung gesehenen Weise ausgebildet. Das Ergebnis ist eine extrem gleichmäßige und sehr zuverlässige strukturierte Oberfläche. Die Trockenwiderstände des Vermögenswertes können durch eine Reihe von Schritten wie Vorsensibilisierung, Reaktion auf die UV-Beleuchtung und Nachentwicklung fotografiert werden. Ein einzigartiges Merkmal des TEL Lithius-Modells ist, dass jeder Schritt durch den Einsatz von Software- und Bildanalysetools automatisiert und überwacht werden kann. Dies ermöglicht es Benutzern, die Leistung von Photoresist-Prozessen genau zu quantifizieren, um eine höhere Genauigkeit und Genauigkeit der Vorhersagbarkeit zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Lithius Ausrüstung ist mit einer Reihe von Fertigungs- und Funktionsressourcen konzipiert, um konsistente Leistung zu gewährleisten. Zu diesen Ressourcen gehören eine Reihe von Kamerasystemen, die dem Anwender einen genauen Tiefblick auf seine Resists bieten, Quarzlinsen, die eine stabile und laserfreie Beleuchtung des Wafers gewährleisten, und ein granulares Einstellmerkmal, das dem Anwender die Steuerung der Beleuchtungsenergie ermöglicht. Das System enthält auch Funktionen für die Routine-Wartung, um sicherzustellen, dass das Gerät im Laufe der Zeit konsistent bleibt. Neben der Erleichterung der hochgenauen Gleichmäßigkeit bei der Strukturierung bietet Lithius-Maschine auch eine verbesserte Overlay-Genauigkeit von 0,25 µm oder besser und bietet Benutzern verbesserte Linien- und Raumstrukturen. Weitere Merkmale des Tools sind eine geringere Betriebskosten, keine Notwendigkeit für Photolösungsmittel und die Fähigkeit, in grünen Fabs zu arbeiten. Mit einem breiten Spektrum an Funktionen von der Automatisierung bis zur Wartung ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Asset für die konsequente Produktion von Mikroelektronik-Geräten und -Komponenten konzipiert.
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