Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111778 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um qualitativ hochwertige Musterleistung mit niedrigen Kosten und hohen Durchsätzen zu bieten. Das System verwendet eine Lithographietechnik, die optische Photolithographie genannt wird. Dabei handelt es sich um einen Prozess, bei dem Licht durch eine Maske projiziert wird, um Muster auf dem Halbleitermaterial zu erzeugen. TEL Lithius ist mit einer fortschrittlichen optischen Quelle ausgestattet, die UV-Licht emittiert. Dieses UV-Licht wird durch eine Lichtmaske auf ein mit Photolack beschichtetes Halbleitermaterial geleitet. Die Photolackschicht ist lichtempfindlich und ändert ihre Struktur, wenn sie dem Licht ausgesetzt ist, wodurch ein Muster entsteht. Dieses Muster kann dann entwickelt und auf das Halbleitermaterial übertragen werden. Die Maschine verfügt über ein modernes optisches Beleuchtungswerkzeug, ein 3-DOF-Ausrichtungsmodul, einen erweiterten Wafer-Scan und eine verbesserte Auflösung der Funktionen bis zu 65nm. Die Anlage ist in der Lage, hochpräzise Muster mit Linienbreiten von 1-2um zu produzieren, sowie vollständig zu beseitigen Näheffekte. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Photoresist-Kontrollmodell, das die Temperatur, Zusammensetzung und Viskosität der Photoresist-Schicht genau verwalten kann. Die Ausrüstung hat auch ein Auto-Ausrichtungssystem, das genaue Ausrichtung und präzise Musterung auf verschiedenen Arten von Materialien gewährleistet. Es verfügt über eine spezialisierte Die-to-Die-Korrektur-Einheit, die alle Artefakte oder Unregelmäßigkeiten während des Prozesses effektiv beseitigen kann. Außerdem weist die Maschine ein Abscheidewerkzeug zur Zugabe von Schutzschichten auf der strukturierten Oberfläche des Substrats auf. Das Asset kann mehrere Prozesse gleichzeitig ausführen und ist mit den meisten Maskenausrichtern und Wafer-Steppern kompatibel. Es ist auch in der Lage, große und komplexe Designs mit mehreren Schichten und Funktionen zu handhaben. Insgesamt ist das Modell TOKYO ELECTRON Lithius so konzipiert, dass es eine kostengünstige Lösung sowohl für die präzise Strukturierung als auch für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet.