Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9204825 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9204825
Wafergröße: 12"
Coater / Developer system, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die von TEL (TOKYO ELECTRON Ltd.) entwickelt und von Nikon Metrology unterstützt wird. Es wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Fertigungs- und Produktionsprozesse zu bewältigen. Es entfällt das Scannen und ist deutlich schneller als herkömmliche Fotoresists. TEL Lithius verwendet ein softwaregesteuertes lösungsbasiertes Design, um Präzisionsmuster und Bilder zu erzeugen. Die fortschrittliche Lithographie auf Waferebene sorgt für eine sehr hohe Auflösung und Genauigkeit bei einer Funktionsgröße von 0,1 bis 50 μ m. Es bietet auch eine breite Linienbreite Steuerung (so klein wie 0,15 μ m) und überlegene Linienbreite Variation Leistung. TOKYO ELECTRON Lithius-Einheit bietet eine kostengünstige Lösung für maskenlose Photolithographie und ermöglicht hochpräzise Photoresist-Anwendungen. Die Maschine verwendet proprietäre Software, um jeden Aspekt des Photolackprozesses zu steuern. Dazu gehören die Mustererzeugung, das Waferlayout, die Waferbearbeitung und die Maskenoptimierung. Lithius basiert auf einem Bottom-up-Abscheidungsprozess, der mit einer gleichmäßigen Schicht Resistbeschichtung des gesamten Wafers beginnt. Die Schicht wird dann selektiv für eine vorgegebene Zeit einer Lichtquelle, wie einer Ebara- oder Quarzlampe, ausgesetzt. Nach der Belichtung mit diesem Licht wird dann der Photolack entwickelt und verarbeitet, um Muster und Produkte herzustellen. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius-Werkzeug ist in der Lage, hochpräzise und ultrafeine Strukturen mit feinen Linien und hohen Seitenverhältnissen zu produzieren. Es ist auch sehr energieeffizient und minimiert Abfall während des Prozesses. Darüber hinaus ist es sehr einfach zu bedienen und erfordert minimale Schulung und Wartung. TEL Lithius ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für die Herstellung von High-End-Halbleiter- und MEMS/Nano-Bauelementen. Es eignet sich für den Einsatz in vielen Branchen wie Biomedizin, Elektronik, Automobil, Telekommunikation, Displays und gedruckten Schaltungen. Das Asset kann verwendet werden, um sehr komplexe Muster und Komponenten zu erstellen und ist ideal für die Massenproduktion von Kleinteilen.
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