Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235182 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius, auch bekannt als Large Area Fine Patterning Platform (LFtec), ist eine Photolithographie-Ausrüstung, die verwendet wird, um einheitliche, mikrongroße Muster auf großen Halbleiterscheiben zu erzeugen. Das System verwendet ein modernes Wärmebildverfahren, um Muster in Photolack mit hohem Durchsatz Effizienz zu belichten. Die LFtec ist in der Lage, Muster mit Mustern im Bereich von 5 bis 20 µm und mit Ausrichtungsgenauigkeit innerhalb von 1 µm zu erzeugen. Die LFtec-Einheit basiert auf einem Photolithographieverfahren, das aus drei großen Teilen besteht; die Beleuchtungsoptik, der Fotolack und die Fotoausrichtung. Zunächst beleuchtet die Beleuchtungsoptik ein bestimmtes Muster auf den Fotolack. Dann absorbiert der Photolack das Licht zu einer chemischen Reaktion, die von der Art des Photolacks abhängt. Der Fotopuffer richtet die Muster relativ zu jedem Wafer aus. Mit dem fortschrittlichen Wärmebildverfahren TEL, das von der LFtec-Maschine verwendet wird, wird die Durchsatzeffizienz verbessert. Es verfügt über eine Infrarot-Lichtquelle, um den Fotolack schnell zu erwärmen, was hilft, das Muster im Vergleich zu herkömmlichen Photolithographie-Geräten viel schneller zu belichten. Es verfügt auch über eine hohe Genauigkeit kostbar gesteuerte räumliche Filter, um die Linienbreite Verzerrung der Muster zu reduzieren. Darüber hinaus ist das LFtec-Tool für die einfache Handhabung mehrerer Wafergrößen von 200 mm bis 12 Zoll-Wafern ausgelegt. Es bietet auch eine vollständige Integration mit Echtzeit-Daten ist seine Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die einzigartigen bildgebenden Fähigkeiten des LFtec Asset machen es zu einer idealen Wahl für komplexe Muster auf großen Wafern. Die einheitlichen und präzisen Muster aus dem Modell machen es sehr gut geeignet für viele fortgeschrittene Anwendungen wie integrierte Schaltungen (ICs), LED-Anzeigen und andere Technologien.