Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235261 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Schaltungselementen auf einem Substrat verwendet wird. Photoresist, oder lichtempfindliche Chemikalien, die auf Licht reagieren, wird verwendet, um strukturierte Strukturen auf einem Substrat während des Prozesses der Lithographie zu schaffen. Das TEL Lithius-System besteht aus einer Schritteinheit, einer lithographischen Beleuchtungsquelle und einem Resistbeschichtungskopf. Der Stepper ist für die Steuerung der motorisierten Stufen verantwortlich, die den Chip und das Substrat bewegen, sowie für ein präzises Mittel zum Drehen, Verschieben und Fokussieren des Substrats. Der Stepper enthält auch zusätzliche Möglichkeiten, um eine mehrdimensionale Ausrichtung des Substrats und eine Bewegung des Chips während des Betriebs zu ermöglichen. Die lithographische Beleuchtungsquelle stellt eine Lichtquelle für die Belichtung bzw. Abbildung des Fotolacks bereit. Es bietet verschiedene Musterlampen in Abhängigkeit von den Eigenschaften des Fotolacks und enthält auch eine Ausrichtungstafel zur Prüfung der Positionsgenauigkeit der Struktur. Die letzte Komponente der Einheit ist der Resistbeschichtungskopf, der für die genaue Beschichtung des Resistes auf dem Substrat verantwortlich ist. Diese Maschine bietet einen sensorgesteuerten Übertragungsfluss, um eine gleichmäßige Beschichtung des Resists auf dem Substrat zu gewährleisten. Der Header ist in der Lage, eine Fläche von bis zu 50 mm Breite und eine Auflösung von bis zu 0,01 µm zu beschichten. TOKYO ELECTRON Lithius Maschine wird seit Jahrzehnten verwendet, um hochauflösende Strukturen auf Chipsätzen zu schaffen, die in einer Vielzahl von Anwendungen wie Mobiltelefon-Komponenten, Halbleiter-Testboards und OLED-Displays verwendet werden. Das Photoresist-Werkzeug arbeitet, indem es die Belichtungen des Resists auf dem Substrat in Abhängigkeit von der Intensität der Lichtquelle selektiv degradiert und hochauflösende Strukturen jeder Form oder Größe erzeugt. Die fortschrittliche Technologie von Lithius bietet präzise Kontrolle und Genauigkeit, die es Anwendern ermöglicht, Fehler bei der Herstellung ihrer Strukturen zu minimieren.
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