Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9260375 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System nutzt ein Zweikammer-Nassbankformat mit einer Kammer zur Vorbehandlung und einer zweiten Kammer für den Entwickler. Die Vorbehandlungskammer kann Substrate mit einer Kombination aus Säure- und Basenbehandlungen sowie p-Typ oder n-Typ-Dotierung behandeln. Die Entwicklerkammer enthält die Photolacklösung, so dass der Anwender Photolackschichten mit präziser Dicke und Profilen auf das Substrat aufbringen kann. Zur Strukturierung der Photolackschicht werden Photomasken verwendet, wobei das Profil der Maske und die Intensität der Lichtquelle die Dicke und das Profil der aufgebrachten Photolackschicht bestimmen. Das Gerät umfasst einen Geräteregler, der die Temperatur und Durchflussrate der verschiedenen Lösungen sowie die Parameter der Lichtquelle, des Substrats und der Photomaske überwacht. Dies ermöglicht eine genaue Kontrolle jedes Verfahrensschritts, so dass wiederholbare und präzise Ergebnisse erzielt werden können. Darüber hinaus enthält die Maschine auch eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der der Benutzer Werkzeugparameter und Rezepte für seine Anwendung anzeigen und auswählen kann. Darüber hinaus ermöglicht das Asset dem Benutzer, Rezepte und Prozessparameter für die zukünftige Verwendung zu speichern. Dies gewährleistet einen konsistenten Prozess, auch wenn Änderungen an einem bestimmten Rezept oder Prozessparameter vorgenommen werden müssen. Das Modell weist auch ein Autofokus-Merkmal auf, das sicherstellt, dass die richtige Fokustiefe während des Photoresist-Beschichtungsvorgangs erreicht wird. Diese Funktion verhindert Oberflächenbildverzerrungen durch unsachgemäßen Fokus. TEL Lithius ist eine extrem präzise Photolackausrüstung, die die Herstellung von hochgenauen und hochwertigen Halbleiterbauelementen ermöglicht. Die intuitive Benutzeroberfläche des Systems und robuste Prozedurparameter ermöglichen hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse und sorgen für einen effizienten und zuverlässigen Prozess.