Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274993 zu verkaufen
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ID: 9274993
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
(2) Coater / (5) Developer system, 12"
CANON FPA 5500 iZa included
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die speziell für den Lithographieprozess entwickelt wurde. Es kann verwendet werden, um Muster in Masken für verschiedene Zwecke, wie Halbleiterchip-Herstellung und Maskenherstellung zu erstellen. Photolackmaterialien werden verwendet, um Muster auf der Oberfläche eines Substrats oder einer Vorrichtung wie einem Halbleiterchip oder einer Maske zu erzeugen. TELEFON Lithius System besteht aus einem scannenden Elektronbalkenaussetzungswerkzeug, einer Maskenschreibeneinheit und einem photowiderstehen Material. Das scannende Elektronbalkenaussetzungswerkzeug wird verwendet, um ein Muster von Elektronbalken auf eine Maske zu ziehen, um eine gemusterte Oberfläche zu bilden. Die Maskenschreibmaschine verarbeitet dann dieses Muster, um ein Bild auf dem Substrat oder der Maske zu erzeugen. Anschließend wird das Photolackmaterial auf das Substrat bzw. die Maske aufgebracht und das Muster kann auf das Substrat bzw. die Maske übertragen werden. Eines der Hauptmerkmale von TOKYO ELECTRON Lithius Werkzeug ist seine hohe Auflösung. Es ist in der Lage, Submikronauflösung, was bedeutet, dass es Muster mit einer Merkmalsgröße bis in den Submikronbereich produzieren kann, die für viele fortschrittliche Technologien, wie Halbleiterchips und Chipmasken wesentlich ist. Das Asset ist auch in der Lage, eine hohe Seitenverhältnisstrukturen (das Verhältnis von Tiefe zu Merkmalsgröße) zu schaffen, die für die Herstellung von Halbleiterchips und die Herstellung von Masken wesentlich ist. Lithius-Modell ist auch in der Lage, andere Technologien zu unterstützen, die höhere Auflösung erfordern, wie 3D-Druck und Kontakt-Lithographie. Das Gerät unterstützt auch die Verwendung einer Reihe von verschiedenen Photoresists, wie Epoxy-Photoresists, Polyimid-Photoresists und andere. Dadurch kann das System für eine Vielzahl verschiedener Substrate und Masken eingesetzt werden. Darüber hinaus ist die TEL/TOKYO ELECTRON Lithius-Einheit benutzerfreundlich und einfach zu bedienen. Dies macht es ideal für diejenigen, die neu in der Photolithographie sind oder nur begrenzte Erfahrung mit der Technologie haben, da sie schnell lernen und sich mit der Maschine vertraut machen können. Insgesamt ist TEL Lithius eine umfassende Lösung für Photolithographie- und Maskenschreibanwendungen. Seine hohe Auflösung und Unterstützung für mehrere Photolackmaterialien ermöglicht die Herstellung komplexer Muster und Strukturen. Das benutzerfreundliche Design des Asset macht es auch für erfahrene und unerfahrene Benutzer gleichermaßen geeignet.
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