Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275274 zu verkaufen
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ID: 9275274
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
(2) Coater / (5) Developer system, 12"
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung integrierter Schaltungen. Dieses System basiert auf der fortschrittlichen Lithographietechnologie von TEL und bietet eine umfassende Palette von Photolackprozessen für fortschrittliche Halbleiterbauelemente. Es wurde entwickelt, um das schnelle und präzise Ätzen des Resists für die Strukturierung zu ermöglichen, was eine hohe Auflösung und überlegene Eigenschaften für das Halbleiterbauelement ermöglicht. Das Gerät ist in der Lage, eine hochpräzise Rückseitenausrichtung bereitzustellen, die es zu einer idealen Wahl für die Reduzierung von Overlay-Fehlern und eine enge Overlay-Steuerung macht. Die Maschine kann den Zustand des Resistes kontinuierlich überwachen und anpassen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Dies hilft bei der Erzielung der gewünschten Muster mit einer höheren Genauigkeit. Das Werkzeug sorgt auch für ein gleichmäßiges Ätzen der Muster, um sicherzustellen, dass die Merkmale genau geätzt werden. Der Photoresist verfügt über ein fortschrittliches Herstellungsverfahren, das die Herstellung der Resistoberfläche vor dem Ätzen unterstützt. Es ist mit einer statischen Eliminationsvorrichtung ausgestattet, die Verunreinigungen auf der Oberfläche minimiert und gleichzeitig den besten Qualitäts-Ätzprozess bietet. Das Modell ist mit einer einzigen Wafer-Ladeeinrichtung ausgestattet, die es ermöglicht, die Ladezeit zu reduzieren und das Risiko zu verringern, die Wafer höheren Verschmutzungen auszusetzen. Das System verfügt außerdem über eine dielektrische Platte, die als Isolator zum Schutz des Wafers dient, sowie über eine eingebaute Heizeinheit zur Aufrechterhaltung einer konsistenten Temperatur für eine einfachere Bedienung. Die Maschine lässt sich einfach mit einer grafischen Benutzeroberfläche und benutzerfreundlichen Bedienelementen bedienen. Es ist auch für die Verbindung mit anderen Systemen konzipiert, die auf offenen Feldbussystemen arbeiten. Dadurch wird sichergestellt, dass Daten nahtlos zwischen den beiden Systemen ausgetauscht werden können. Das Werkzeug ist zuverlässig, sicher und einfach zu bedienen und bietet eine kostengünstige Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Diese Ressource eignet sich ideal für den Einsatz in neuen Produktentwicklungs-, Konstruktions- oder Produktionsanwendungen.
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