Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296906 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9296906
Wafergröße: 12"
Coater / Developer system, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photolackanlage, die für die Herstellung von Halbleitermaterialien entwickelt wurde. Das System wird verwendet, um Muster in einen Halbleiterwafer zu ätzen, um winzige Merkmale oder Komponenten auf seiner Oberfläche zu erzeugen. Die Einheit verwendet eine „Maske“, die ein vorgewähltes Muster enthält, das über den Wafer gelegt wird. Der Wafer wird dann einer Strahlung hoher Intensität, meist UV-Licht, ausgesetzt, so dass das Muster auf seine Oberfläche überträgt. Der Prozess der Übertragung des Musters ist als Lithographie bekannt, und TEL Lithius verwendet einen einzigartigen „Elektronenstrahl-Lithographie“ -Ansatz. Dabei wird der Elektronenstrahlstrahl durch eine Reihe von photoelektrischen Ablenkplatten an der Probe fokussiert und abgelenkt, so daß eine genaue Strahlungsmenge auf den Wafer gelangen kann. Dadurch werden weniger Atome auf der Oberfläche erzeugt, wodurch die benötigte Ätzzeit reduziert wird. Die Maschine ist in der Lage, ultrahochpräzise Ätzen zu liefern, in der Lage, Funktionen so klein wie 0,012 Mikrometer auf einer 36 x 36 mm Fläche zu schaffen. Da der Balken mit sehr hoher Genauigkeit gelenkt werden kann, ermöglicht dieses hochpräzise Verfahren auch die Erzeugung von Merkmalen mit komplexen, auch bogenförmigen Formen. Der Photolackpegel kann angepasst werden, um Merkmale unterschiedlicher Größe zu erhalten. Ebenfalls einstellbar ist das Signal-Rausch-Verhältnis, das mehr Kontrolle über das Muster ermöglicht und mit einer beliebigen Filmdicke arbeitet, um hochauflösende Ergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen einzigartigen Elektrodenfilter, der eine hohe Auflösung und gleichmäßige Leistung bietet. Das wartungsarme Design von TOKYO ELECTRON Lithius gewährleistet Zuverlässigkeit und ermöglicht eine kontinuierliche Produktion hoher Qualität über lange Zeiträume. Es bietet kurze Belichtungszeiten, so dass es ideal für schnelle Zyklusproduktion, und die hohe Kontrolle des Prozesses sorgt für sehr feine und konsistente Ätzung. Lithius ist hochgenau und zuverlässig und die ideale Technologie zum Präzisionsätzen von Halbleitern. Es ermöglicht eine sehr hohe Auflösung und verbesserte Gleichmäßigkeit und ist damit eines der am besten geeigneten Systeme zur Herstellung integrierter Schaltungen und anderer Nanotechnologiegeräte.
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