Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355521 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das auf eine Oberfläche aufgebracht wird, um Muster und Strukturen in das Substrat zu ätzen oder zu entwickeln. TEL Lithius wurde entwickelt, um präzise Substratmuster mit minimaler Kontamination für kritische Prozesse bereitzustellen. Der Kern des Systems ist eine proprietäre Lichtquelle, die eine kollimierte, gleichmäßige Linie von tiefem ultraviolettem (DUV) Licht mit einer hohen Intensität erzeugt. Diese Lichtquelle dient zur direkten Belichtung der Photolackschicht mit kontrollierter optischer Energie. Die Strukturierung des Substrats erfolgt dann in einer geschlossenen Umgebung, die Genauigkeit und minimale Variationen gewährleistet. TOKYO ELECTRON Lithius enthält auch eine automatische Temperaturkompensationseinheit, die die Temperaturen des Substrats reguliert, um Prozessparameter zu optimieren. Die Maschine ist modular aufgebaut, so dass der Benutzer das Werkzeug an jede spezifische Anwendung anpassen kann. Es kommt mit einer Vielzahl von Modulen, die auf die Verarbeitung verschiedener Arten von Substraten zugeschnitten sind. Zu diesen Modulen gehören Vakuumspannfutter, Spinner, Track und Scanner. Das Vakuumfutter dient als Plattform für das zu übertragende und einzudichtende Substrat. Das Spinnermodul wird verwendet, um das Substrat zu spinnen, da die Lichtquelle den Photolack in einem 360-Grad-Muster beleuchtet. Das Gleismodul wird verwendet, um das Substrat im gewünschten Muster zu bewegen. Es verfolgt die Position der Lichtquelle und des Substrats, um das Substrat genau zu bewegen. Mit dem Scannermodul können große Substrate verarbeitet werden, um extrem kleine Muster zu erzeugen. Die automatisierte Software von Lithius ermöglicht es Benutzern, ganz einfach spezifische Mustereinstellungen zu programmieren. Es verwendet Algorithmen für künstliche Intelligenz, um optimierte Einstellungen für eine schnellere Verarbeitung vorzuschlagen. Das Asset enthält auch eine „Teach and Repeat“ -Funktion, mit der Benutzer schnell komplexe Muster programmieren können. All diese Eigenschaften machen TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Modell zu einem leistungsfähigen und zuverlässigen Werkzeug für komplexe und präzise Substratmuster. Sein robustes Design und seine vielseitigen Module machen es gut an verschiedene Anwendungen angepasst, von der Halbleiterverarbeitung bis hin zu medizinischen Anwendungen.