Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9361840 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für fortschrittliche Prozesse in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Photolacksysteme sind in der Chipherstellung weit verbreitet, um Schaltungsmuster zu erstellen, die verwendet werden, um elektrische Signale zu steuern. Die Hauptfunktion von Photoresist-Systemen besteht darin, durch chemische Reaktion und/oder physikalische Kraft ein Ätzen (Entfernen von Material auf chemischem oder physikalischem Wege) gegenüber einer Abscheidung (Hinzufügen von Material auf kontinuierliche Weise) zu ermöglichen. TEL Lithius ermöglicht das Ätzen von mikrogroßen Wafern über eine breite Palette von Ätzparametern, die alle mit einer Genauigkeit von 0,001\\m (Mikrometer) gehalten werden. Mit einer Vielzahl von Upscaling-Lösungen ist es in der Lage, bis zu 3 Zoll Wafer zu handhaben. Das System arbeitet in drei Schritten: Zunächst ist die Musterung des Fotolacks, gefolgt von fokussierter Ätzung, um Material zu entfernen, und schließlich selektive Abscheidung, um den gemusterten Raum zu füllen. TOKYO ELECTRON Lithius bietet umfassende Unterstützung für fortschrittliche Lithographieverfahren. Es unterstützt eine Reihe von optischen Systemen, einschließlich einer erweiterten Elektronenstrahleinheit, die es Benutzern ermöglicht, präzise Submikron-Schaltungsmuster zu erstellen. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie hochgenau ist und eine präzise optische Auflösung für jede Drift kompensiert. Darüber hinaus ermöglicht eine hochpräzise Kippstufe dem Werkzeug, das Substrat mit einer Auflösung von bis zu 0,1 Grad zu kippen, was eine ultrahohe Wafer-Gleichmäßigkeit ermöglicht. Lithius kann eine hohe Ätzrate, eine hohe Selektivität und eine geringe Anfälligkeit für Kammerkontaminationen bieten. Durch fortschrittliche Ätztechnologien und Gaskontrolle können vielfältige Effekte wie Lichtbogen und reaktiver Sputter erzielt werden. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius mit der Möglichkeit, alle Prozesse einschließlich Gaslieferung, Vakuumwartung, Verbrauchsüberwachung und Reinigungs-/Überwachungszyklen zu automatisieren, ein hocheffizientes und kostengünstiges Photoresist-Asset.
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