Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9391711 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9391711
Coater / Developer systems.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Anlage, die präzise optische Lithographieverfahren ermöglicht. Photoresist ist ein infrarotempfindliches oder sichtbares lichtempfindliches Material, das zur Herstellung von Mustern in der Mikroelektronik verwendet wird. Das System arbeitet, indem ein Resist (ein Material, das gegen eine bestimmte Art von Material beständig ist) einem strukturierten Lichtstrahl ausgesetzt wird. Der Resist wird dann in einem geeigneten Lösungsmittel entwickelt, wodurch die belichteten Bereiche des Resists entfernt werden. Die verbleibenden belichteten Bereiche des Resists werden dann verwendet, um das gewünschte Muster in der Mikroelektronik-Fertigung zu definieren. TEL Lithius besteht aus mehreren Komponenten: 1) Resist Chamber: Hier wird der Resist Licht ausgesetzt, was ihn zum wichtigsten Teil der Einheit macht. Im Inneren der Resistkammer befindet sich eine Vakuumpumpe und Kondensatorlinse, die hilft, die Dicke des Resistes um 30-40% zu reduzieren. Dies wiederum trägt zur Steigerung der Effizienz und Genauigkeit des Lithographieprozesses bei. 2) Maske Aligner: Dies wird verwendet, um die Maske zu steuern, die als Schablone für den Belichtungsprozess fungiert. Der Maskenausrichter ermöglicht eine genaue Ausrichtung der Maske auf den Resist und trägt dazu bei, dass das gewünschte Muster erreicht wird. 3) Diffusor/Strahl formende Optik: Diese Komponente hilft, den Lichtstrahl zu formen, bevor er in die Resistkammer gesendet wird. Durch die korrekte Formgebung des Balkens kann es helfen, ein Muster höherer Auflösung zu erzeugen. 4) Wellenformgenerator: Diese Komponente ist für die Steuerung der optischen Einstellungen in der Resistkammer verantwortlich. Es wird verwendet, um die Parameter zu programmieren, denen der Resist ausgesetzt wird, wie Wellenform, Frequenz, Pulsbreite usw. 5) Mustergenerator: Diese Komponente ist für die Erzeugung des Musters verantwortlich, das verwendet wird, um das gewünschte Muster im Resist zu erzeugen. 6) Überwachungsmaschine: Diese Komponente ist dafür verantwortlich, sicherzustellen, dass alle Komponenten im Werkzeug korrekt funktionieren und dass die Bedingungen innerhalb der Resistkammer optimal sind, um qualitativ hochwertige Muster zu erzeugen. TOKYO ELECTRON Lithius ist eine fortschrittliche und zuverlässige Bereicherung für präzise optische Lithographieverfahren. Es wird weitgehend in der Herstellung von Halbleiterherstellung, medizinischen Geräten und anderen High-Tech-Komponenten verwendet. Das Modell wurde für eine einfache Bedienung entwickelt und bietet Anwendern zuverlässige Ergebnisse und eine hervorragende Auflösung.
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