Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397193 zu verkaufen
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ID: 9397193
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2012
System, 12"
Material / Chemical:
PR, HMDS, Thinner, DEV
ArF Sub-process
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL Lithius load ports
(1) TEL Lithius loader arm
(5) TEL Lithius transfer robot arms
Process module:
Chamber
Pump
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
Chemical box
ETC
Parts and tool
Module:
(8) PM1 Soft bakes
(4) PM2 ARC bakes
(8) PM3 PEB
(3) PM4 Hard bakes
(3) PM5 ADH
(5) PM6 COT
(5) PM7 DEV
(1) PM8 WEE
PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater (Range of temperature): High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Missing parts:
S/V ADH256 Chamber coat error
DEV303 AOV Bath rinse
DEV303 AOV Firm rinse
IRAS R-Axis driver
Port clamp cylinder
COT201, COT203 Spin chuck
LHP Temperature board
Mapping arm assembly
WEE Fan
L-Arm Z-motor
IRAS Z-Driver
IRAS Y-Driver
IRAS X-Driver
IRAS X-motor
UPS Battery swap
Control power supply swap
EC Controller swap
CRA Cover, ITL Switch
Ejector
Y-Driver
X5 Cable
DEV 301 Spain I/O Board
(2) Borads, COT MTR
4-Ports assembly
Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in einer Vielzahl von Herstellungsprozessen eingesetzt wird. Photolacksysteme dienen zur Herstellung und Verarbeitung eines Substrats für Weiterverarbeitung oder Herstellungsschritte. TEL Lithius ist ein Photolacksystem der nächsten Generation von TEL, einem Technologielösungsanbieter. Das Gerät ermöglicht es Kunden, in wenigen Schritten einen Resist-Prozess zu entwickeln. Es kann eine genaue Strukturierungssteuerung bereitstellen und gleichzeitig Auflösung und Fokustiefe in der hochauflösenden Mikrolithographie verbessern. Die Maschine kann den Prozessdurchsatz erhöhen und die Ausbeuten in verschiedenen Photolithographieverfahren verbessern. TOKYO ELECTRON Lithius ist in der Lage, fortschrittliche Lithographietechniken wie Dünnschichtbildgebung, Tiefenuxviolettlithographie und Atomstrahllithographie durchzuführen. Es unterstützt auch Photopatterning, eine Technik, bei der eine einzelne Maske verwendet wird, um hochauflösende Muster auf einem einzelnen Wafer zu mustern. Das Tool verwendet mehrere fortschrittliche Technologien, darunter eine Elektronenstrahlquelle, feste Immersionslinsen, variable numerische Öffnungen und eine integrierte Objektivprojektionslinse. Diese Kombination von Technologien ermöglicht es dem Asset, höhere Auflösung und feinere Muster im Vergleich zu anderen Photoresist-Techniken zu erzeugen. Das Modell ist so konzipiert, dass es einfach zu bedienen und zu bedienen ist, sodass Kunden Parameter oder Rezepte auswählen können, die schnell geändert werden können, um den Prozess anzupassen. Die Ausstattung bietet Kunden ein Maß an Flexibilität, das auf ihre spezifischen Bedürfnisse zugeschnitten werden kann. Das System bietet eine verbesserte Filmdickensteuerung, eine größere Strahlstromhülle und eine verbesserte Leistung des Substratmaterials. Diese Funktionen bieten Kunden einen verbesserten Durchsatz und genaue Musterergebnisse. Lithius ist ideal für Chiphersteller und andere Fertigungsanwendungen wie organische Photovoltaikmodule, hochdichte Leiterbahnen, Mikrofluidik und fortschrittliche Substrate. Das Gerät kann für eine Vielzahl von Prozessen eingesetzt werden, einschließlich Implantation, Strukturierung, Trockenätzen und Nassätzen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Lithius eine leistungsstarke und vielseitige Photolackmaschine, die die Photolithographie optimieren und verbessern soll. Es ist eine ideale Lösung für Kunden, die nach einem fortschrittlichen Tool mit verbessertem Durchsatz und besseren Erträgen suchen.
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