Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5 #9394083 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5 Photoresist Equipment ist ein kritischer Bestandteil von Halbleiterherstellungsprozessen, mit seinen Hauptanwendungen, die sich auf die Entwicklung von feinteiligen optischen Mustern und hochdichten Leiterbahnen konzentrieren. TEL Mark 5 unterstützt die Entwicklung von Resistbildern für eine breite Palette von Substraten und ermöglicht die Optimierung der optischen Musterbilder. Das System besteht aus zwei Teilen, der Belichtungseinheit und dem Bedienpult. Die Belichtungsmaschine besteht aus einem optischen Tisch mit integrierten Spiegelplatten, Lampengehäuse und Linsenhalterung und dem Abtastwerkzeug. Der optische Tisch bietet eine flache und stabile Plattform für das optische Gut. Die Spiegelplatten sind hochpräzise ausgebildet, so dass die Laserstrahlen der Laserquelle vollständig von der Spiegelplatte reflektieren und dann direkt die Mitte des Substrats freilegen. Das Lampengehäuse bietet eine optimale Umgebung für den Betrieb des Lasers und der Linsenhalterung, während die Linsenhalterung die für den Belichtungsprozess erforderliche optimale Position der Linse gewährleistet. Das Scanmodell umfasst eine Laserquelle, einen reflektierenden Spiegel und einen Galvo-Spiegel. Die Laserquelle ist in der Lage, einen weiten Bereich von Wellenlängen mit ausgezeichneter Strahlgleichförmigkeit, Helligkeit und Genauigkeit zu emittieren. Der reflektierende Spiegel erzeugt eine Reihe von Abtastlinien, die eine exakte Ausrichtung des Substrats ermöglichen, während der Galvo-Spiegel für eine Erhöhung der Durchsatzgeschwindigkeit verantwortlich ist. Die Steuerkonsoleneinheit dient als Motor von TOKYO ELECTRON Mark 5 Photoresist-Geräten. Es ist mit einer Temperaturregelung und einem Sicherheitsmonitor ausgestattet, die für das Verständnis und die Steuerung von Prozessparametern erforderlich sind. Es ist auch mit einer eingebetteten, benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) ausgestattet, die einen einfachen Zugriff auf Systemeinstellungen ermöglicht, die auf Kundenanforderungen optimiert werden können. Darüber hinaus verfügt die Steuerkonsole über einen programmierbaren Logikcontroller (SPS), der eine automatische Regelung verschiedener Geräteparameter ermöglicht. Zusammenfassend ist Mark 5 Photoresist Machine ein vielseitiges Werkzeug zur Entwicklung optischer Muster mit hoher Präzision. Es verfügt über ein ausgeklügeltes Exposure-Asset und eine leistungsstarke Steuerungskonsole, die die Optimierung verschiedener Parameter ermöglicht. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und zuverlässiger Leistung ist TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5 das Modell der Wahl für die heutigen Halbleiterhersteller.