Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819130 zu verkaufen

ID: 293819130
Weinlese: 2001
Coater / Developer system 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Auflösung feiner Linienbreiten, enger Räume und hochauflösender Muster auf elektronischen Schaltungen. Das System besteht aus einer leistungsstarken Strahlformungseinheit, Strahlablenk- und Messsystemen, Laseroptiken und optischen Komponenten, Abtastspiegeln und Bewegungssteuerungssystemen zur präzisen Positionierung. Darüber hinaus gewährleisten fortschrittliche Automatisierungs- und Prozessleitsysteme einen präzisen Betrieb und eine zuverlässige Produktion, um den Anforderungen von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation gerecht zu werden. Die Strahlentwicklungsmaschine in TEL MARK7 verfügt über eine Reihe von Hochleistungs-Laserdioden, um einen angepassten und sorgfältig geformten Ausgang für die Strukturierung zu erzeugen. Der Strahl kann mit Hilfe eines einstellbaren gleichstrominjizierten Laserdiodenarrays mit vertikaler Skala und einstellbarem Laserdiodenvorspannstrom fein fokussiert und mit Amplitude gedämpft werden. Der Ausgang kann dann mit einem trinokularen Werkzeug aus zylindrischen Linsen weiter abgestimmt werden, die durch einen Stufen- und Hochleistungslageregler gesteuert werden. Diese Komponenten können präzise einen fokussierten zweidimensionalen Strahl mit schmaler Linienbreite und hochgenauer Strahlplatzierung bilden. Die Laseroptik innerhalb der Anlage wurde entwickelt, um die Strahlerzeugung und Ablenkung zu optimieren. Das optische Weglayout ist optimiert für homogene Beleuchtung, geringe Verzerrung und eine große Bandbreite an Scanfeldern. Hochleistungsspiegel werden verwendet, um Strahlablenkgeschwindigkeiten zu erhöhen, so dass sie sich schnell in die gewünschten Positionen bewegen können. Darüber hinaus ermöglicht ein hochpräziser Winkelspiegel eine breite Palette von Strahlrichtungen unter Beibehaltung der Genauigkeit. Die Raster- und Bewegungssteuerungssysteme von TOKYO ELECTRON MARK-7 eine präzise, rauscharme Abtastung des Strahls ermöglichen, um die erforderlichen Muster zu erzeugen. Eine Reihe von Hochleistungs-Servomotoren sind für genaue Bewegung synchronisiert und ihre Bewegungsregler sind in der Lage, Hochgeschwindigkeits-Abtastung und Feinauflösung Kontrolle zur Verfügung zu stellen. Dieses Modell ist in der Lage, den Strahl mit dem gewünschten Fokus, der Geschwindigkeit und der Stärke auf dem Fotolack genau zu positionieren. Schließlich sind die Prozessleitsysteme in TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 so konzipiert, dass sie eine hohe Produktionssicherheit ermöglichen, um den Anforderungen der nächsten Generation von Halbleiterbauelementen gerecht zu werden. Die softwaregesteuerten Photolack- und Prozessprozesse ermöglichen einen wartungsfreien Betrieb. Es ist mit einer Rückkopplungseinrichtung ausgestattet, um eine Fotolackverschmutzung zu verhindern, und verfügt auch über eine Rückkopplungsschaltung, um die Genauigkeit des Fotostopps zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist-System ist eine leistungsstarke Einheit, die hochauflösende Bilder mit schmalen Linienbreiten, engen Räumen und gleichmäßiger Beleuchtung bereitstellt. Seine leistungsstarke Strahlformungsmaschine, Strahlablenk- und Messsysteme, Laseroptik, Abtastspiegel und Bewegungsregler sowie fortschrittliche Automatisierungs- und Steuerungssysteme sorgen für präzisen Betrieb und zuverlässige Produktion.
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