Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9026272 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für modernste Anwendungen in der Halbleiterbauelementherstellung entwickelt wurde. Das System basiert auf der Field Effect Imaging (FEI) Lithographietechnologie, wobei ein dünner Film aus Photolack über einem Siliziumsubstrat gebildet und mit Hilfe einer Elektronensäule selektiv Licht ausgesetzt wird. Photolack wird mit einem schmalen Elektronenstrahl beleuchtet, während die Intensität des Elektronenstrahls moduliert wird, um ein durch ein Retikel definiertes zweidimensionales Musterbild zu erzeugen. Der dem Strahl ausgesetzte Photolack wird selektiv ausgehärtet, während der nicht belichtete Photolack mit einem Lösungsmittel entfernt wird. Dieser Vorgang wird wiederholt, um die notwendigen Sub-Mikron-Merkmale für die Herstellung des Geräts zu schaffen. TEL MARK7 verfügt über erweiterte Musterfunktionen, einschließlich der Fähigkeit, Funktionen zu produzieren, die bis zu 0,1 Mikron (100 Nanometer) dauern. Als solche ist das Gerät gut geeignet für Sub-Mikron-Ebene Eigenschaftenherstellung und hohe Durchsatz Produktion. Die Maschine ist auch in der Lage, Hochleistungs-Post Exposure Bakes (PEB) -Fähigkeiten, ermöglicht Post-Exposure-Musterung bei Temperaturen von bis zu 1000 ° C (1832 ° F). Dies eignet sich insbesondere für Hochtemperaturprozesse wie Aluminiumimplantation und Wolframabscheidung. TOKYO ELECTRON MARK-7 bietet auch eine breite Palette von Prozessoptionen für Belichtungen und PEBs. Modulation Transfer Function (MTF) ist ein wichtiges Merkmal innerhalb dieser Prozessoptionen, das eine genaue Bestimmung der Belichtungsdosis durch den Einsatz von dynamischen Messfähigkeiten und hochlinearen Prozesskurven ermöglicht. On-Board-Kalibrierungen werden bereitgestellt, um die Zeit des Benutzers beim Einrichten zu reduzieren und den Durchsatz zu verbessern. Weitere nützliche Merkmale von TEL MARK-7 sind integrierte Autofokus- und Rezirkulationspumpen für eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit sowie flexible roboterfertige Endeffektoren. Eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, die Werkzeugleistung zu überwachen und ihre eigenen Prozessparameter einfach einzurichten. Eine genaue Überwachung der Prozessparameter bedeutet, dass Fehlfunktionen im Prozess schnell erkannt und behoben werden können, wodurch das Risiko von Produktverunreinigungen und Ertragsausfällen reduziert wird. Die Anlage ist stark erweiterbar, mit Optionen, um Zubehör in Übereinstimmung mit steigenden Durchsatzanforderungen hinzuzufügen, wie zusätzliche Versorgungsbehälter für Prozesschemikalien. Es verfügt auch über Temperatur-Gleichmäßigkeitsoptionen, die eine gleichmäßige Substrattemperatur über den gesamten Belichtungsbereich ermöglichen. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 model eine ideale Lösung für die Submikron-Fertigung und die Produktion mit hohem Durchsatz. Es ist in der Lage, schnell und präzise präzise Funktionen bis zu 0,1 Mikrometer zu schaffen, während seine integrierten Funktionen und benutzerfreundlichen Kontrollen die Rüstzeit reduzieren und die Wiederholbarkeit verbessern.