Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9098210 zu verkaufen
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ID: 9098210
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
(1) Coater / (2) Developers system, 8"
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die von TEL entwickelt wurde, um die Präzision und Fähigkeit der Resist-Bildgebung zu verbessern. Es ist eine Multi-Tasking-Plattform, die zwei unabhängige Photoresist-Prozesse und vier Sätze unabhängiger Overhead-Gantries unterstützen kann, die mehrere gleichzeitige Belichtungen derselben Quarzplatte oder mehrerer Platten in optischen und digitalen Formaten ermöglichen und gleichzeitig die Möglichkeit bieten, mit anspruchsvollen Substraten umzugehen. TEL MARK7 hat zwei Hauptkomponenten - eine Lithographiekammer und ein Off-Axis-Belichtungssystem. Die Lithographiekammer ist ein Reinraum und mit modernsten Steuerungen zur Maximierung von Durchsatz und Genauigkeit ausgestattet. Es enthält eine Ultrahochvakuum (UHV) -Einheit, die ein Vakuum innerhalb der Kammer erzeugen kann, so dass der Resist ohne Luft freigelegt werden kann. Die Kammer weist außerdem eine reaktive Plasmaquelle auf, die dazu beiträgt, die Haftung des Resists auf dem Substrat vor der Belichtung zu verbessern. Die Belichtungsmaschine ist ein hochauflösendes Werkzeug, das Funktionen auf dem Wafer mit extrem hoher Präzision präzise abbilden kann. Es verfügt über eine Off-Axis-Beleuchtungsquelle, die eine präzise Fokussierung von Mustern auf das Wafersubstrat ermöglicht, unabhängig von der Orientierung oder Dicke des Substrats. Dieses Off-Axis-Asset ist besonders wichtig für die Abbildung dreidimensionaler Strukturen. Das Belichtungsmodell verfügt auch über erweiterte Steuerungsfunktionen, die dazu beitragen, dass der Belichtungsprozess effizient und konsistent ist, eine Hochgeschwindigkeitsmotorsteuerung, um die Masken genau zu bewegen, und automatische Verzerrungs-, Größen- und Platzierungsmessungen, um eine genaue Belichtung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine intuitive Benutzeroberfläche, die Diagnose-, Prozessüberwachungs- und Fehlererkennungsfunktionen bietet. TOKYO ELECTRON MARK-7 ist ein innovatives System, das überlegene bildgebende Fähigkeit und Leistung sowie verbesserte Ausbeute, Durchsatz und einheitliche Betriebszeit bietet. Es hilft auch, Kosten und Markteinführungszeit aufgrund seines hohen Durchsatzes und seiner Flexibilität zu reduzieren. Diese Photoresist-Maschine ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung von High-End-Elektronik und bietet die Zuverlässigkeit und Leistung, die erforderlich ist, um mit Branchentrends und -nachfragen Schritt zu halten.
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