Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9119206 zu verkaufen
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ID: 9119206
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Track system, 6"
Left to right for 8"
Indexer: (4) cassette stage (uni-cassette)
Configuration:
Main body
IF
Chemical cabinet 1
Chemical cabinet 2
THC
PC rack
Main controller: NEC FC-9801F
C/S Robot type: vacuum arm, ceramic pincette
Main robot type: 3 pincette arm
Indexer: laser diode mapping sensor
COAT:
(4) Resist nozzles / bellows pumps
(1) Gallon resist bottle / thinner local supply (canister)
EBR nozzle / back rinse nozzle
Local drain (1st SUS 10L tank/drain pump)
DEV:
Nozzle type: E2
Rinse nozzle / back rinse nozzle
Local supply / facility drain
WEE:
TEL Standard
UL-200T-L1 UV Light source
AD:
TEL Standard
Local supply
Currently warehoused
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die im Photolithographieverfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es entfernt Abfalllicht, das während des Prozesses durch Laserlicht-Technologie erzeugt wird, während die optischen Bedingungen einer Substratoberfläche gesteuert werden. TEL MARK7 verwendet eine 633nm oder 635nm Laserwellenlänge für die Laserlichtquelle in Kombination mit einer einstellbaren Spalt- und Oszillationsoptik. Das System enthält einen Reflektor und eine optische Filteranordnung, die auf die Intensität und Neigung des Laserstrahls eingestellt werden können. Es enthält auch einen hochpräzisen Verschluss, der in der Lage ist, die Belichtungsdauer des Substrats genau zu steuern. TOKYO ELECTRON MARK-7 verfügt auch über eine eingebaute Photoresist-Ausgabeeinheit, die Photoresist-Material mit konsistenten Geschwindigkeiten ohne Nebeln oder Tropfen abgeben kann. Die Maschine wurde entwickelt, um Umweltverschmutzung zu minimieren und Hintergrundstörungen zu minimieren. Es ist in der Lage, hochpräzise Oberflächenergebnisse zu erzielen, indem mehrere Parameter wie der Spaltwinkel und die Laserleistung eingestellt werden. Das Werkzeug hat eine extrem genaue räumliche Auflösung von 1 μ m, wodurch es in der Lage ist, qualitativ hochwertige Ergebnisse auf einer Vielzahl von Substratoberflächen zu erzielen. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 ist ein äußerst effizientes Asset mit hoher Präzisionssteuerung und somit eine ideale Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist sehr zuverlässig und verfügt durch seine robuste Konstruktion über eine lange Lebensdauer. Das Modell lässt sich auch einfach einrichten und ist äußerst benutzerfreundlich. Insgesamt ist MARK-7 eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Aufgrund der Laser-Licht-Technologie und der einstellbaren Spalt- und Schwingungsoptik ist es in der Lage, hochpräzise Ergebnisse zu erzielen. Es ist sehr zuverlässig und benutzerfreundlich, so dass es eine ideale Wahl für die Herstellung von Substraten höchster Qualität.
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