Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9215816 zu verkaufen
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ID: 9215816
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Coater / Developer system, 8"
(8) DHP
(4) CP
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die fortschrittliche lithographische Belichtungslösungen für die Herstellung und Herstellung von Halbleitern bietet. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die Prozesskontrolle und Bildplatzierung Genauigkeit maximiert. TEL MARK7 nutzt die optische Näherungskorrektur (OPC), um hochpräzise optische Lithographiemuster auf den Halbleiterscheiben zu erzeugen. Die OPC-Algorithmen ermöglichen die präzise Platzierung mikroskopischer Merkmale bis zum Nanometerspiegel. Dies ist notwendig für die erfolgreiche Herstellung von hochkomplizierten IC-Designs, die in modernen Halbleiterprodukten verwendet werden. Die Maschine verfügt auch über ein hochpräzises Bewegungssystem mit Bewegungssteuerungssensoren, die eine hochgenaue Positionierung und Geschwindigkeitsrückkopplung liefern. Die Abtasteinheit von TOKYO ELECTRON MARK-7 arbeitet sowohl im langsamen als auch im schnellen Modus und ermöglicht eine präzise Ausrichtung und Positionierung der Mikron-Skalenmuster auf der Oberfläche des Wafers. Darüber hinaus ist dieselbe Maschine nach den Standards International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) und Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) zertifiziert. TEL MARK-7 verfügt außerdem über ein patentiertes In-situ-Wafer-Spannwerkzeug. Dies ermöglicht ein enges und gleichmäßiges Klemmen des Wafers, um eine bessere Wbstrat-Platzierung während des Lithographie-Prozesses zu gewährleisten. Dies hilft, Fehlstellungen zu verhindern, die Fehler in den Lithographiemustern verursachen könnten. TOKYO ELECTRON MARK7 ist mit dem neuesten Lichtdetektor ausgestattet, der die Lichtintensität des optischen Lithographiemusters auf dem Wafer genau messen kann. Dieser Detektor hilft, die perfekten Belichtungsbedingungen für einen präzisen Mustertransfer aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus umfasst die Maschine weitere fortschrittliche Funktionen wie Belichtungsturbulenzmonitor, Topographiemonitor und Bildregistrierungssystem, die bei der Gewährleistung präziser Belichtungsbedingungen und der Ausrichtung während des Betriebs weiter helfen. Diese Funktionen helfen, präzise und wiederholbare Fertigungsergebnisse zu erhalten. Schließlich enthält die Maschine auch ein automatisiertes Retikelaustauschmodell, das beim Umschalten zwischen verschiedenen Lithographiemustern Zeit und Aufwand spart. Dieses Gerät ermöglicht es dem Benutzer, mit einem einzigen Knopfdruck zwischen den verschiedenen Mustern zu wechseln. Eindeutig ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 eine fortschrittliche und unglaublich präzise Ausrüstung, die fortschrittliche lithographische Belichtungslösungen für die Halbleiterherstellung und -produktion bietet. Das präzise Bewegungssystem, die In-situ-Wafer-Spanneinheit, die Lichtdetektionsmaschine und andere Merkmale machen es zu einem ausgezeichneten Werkzeug, um präzise und wiederholbare Fertigungsergebnisse zu gewährleisten.
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