Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9237076 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist Equipment ist ein innovatives Polymer Dünnschichtabscheidungs- und Ätzsystem, das bei der Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte verwendet wird. Diese erweiterte Einheit ist in der Lage, Submikron-Linienmuster zu erstellen. Die Technologie basiert auf einer Kombination aus chemischen Lösungs- und Plasmaätzprozessen, die zu einer einzigen Dünnschichtabscheidungsmaschine kombiniert werden. Die Technologie besteht aus einem zweistufigen Stufen- und Wiederholverfahren, bei dem eine Resistlösung auf ein Substrat aufgebracht wird. Die erste Stufe ist ein Strukturierungsschritt, bei dem eine Fotomaske ausgerichtet und auf das Substrat belichtet wird. Diese Belichtung erzeugt das gewünschte Muster in der Resistfolie. Die zweite Stufe beinhaltet einen Ätzschritt, bei dem durch Plasmaätzen die gewünschten Merkmale im Resistfilm erzeugt werden. Dieser Vorgang schließt die Musterübertragung von der Maske auf das Substrat ab. TEL MARK7 Photoresist-Tool hat zahlreiche Vorteile gegenüber herkömmlichen Musterprozessen, einschließlich höherer Auflösung und feinerer Funktionsgröße. Es kann auch höhere Durchsatzraten sowie verbesserte Genauigkeit und Stabilität bieten. Das Verfahren ist auch vielseitig genug, um Nacharbeiten und einstellbare Funktionsgrößen zu ermöglichen. Das Asset bietet auch einen automatisierten Prozess, der aus Wafer-Handling, Ausrichtung und Fokusanpassung besteht. Diese Automatisierung trägt dazu bei, die Personalkosten zu senken und die Wiederholbarkeit des Prozesses zu verbessern. Es erhöht auch die Effizienz des Prozesses und ermöglicht schnellere Durchlaufzeiten. Diese Vorteile, kombiniert mit der hohen Auflösung und der Größe des Modells, machen TOKYO ELECTRON MARK-7 zu einer äußerst zuverlässigen und gefragten Lösung für hochpräzise Musterverfahren. Diese Ausrüstung wurde in der Herstellung von fortschrittlichen Halbleiter- und optoelektronischen Bauelementen in der Halbleiterindustrie weit verbreitet.
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