Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239616 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von TEL (TOKYO ELECTRON) entwickelt wurde. Es ist ein Resistentwicklungsprozessor, der in Photolithographie- und Musterverfahren zur Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen verwendet wird. Dieses Resist-Processing-System basiert auf einem modularen Aufbau und besteht aus einem Resist-Coater, einem Entwickler, einem Stripper und einem Trockner/Ofen. Der Resist-Coater wird zum Aufbringen von Photolack auf das Substrat verwendet. Es ermöglicht eine präzise Steuerung des Beschichtungsgewichts und der Schichtdicke und erleichtert auch das Aufbringen von antireflektiven Beschichtungen auf dem Substrat. Der Entwickler dient dazu, das Resistmaterial selektiv aus den Nicht-Bildbereichen auf dem Substrat zu entfernen. Es verwendet Hochdruck-Aerosol-Technologie, um die schnelle Entfernung von Photolack zu ermöglichen, komplizierte Muster auf dem Substrat zu erzeugen. Der Stripper ist eine separate Einheit, die zur Entfernung von Restfotolacken verwendet wird. Es ist in der Lage, bis zu 99,5% dicke Resistfolien auf dem Substrat zu entfernen. Der Trockner/Ofen wird verwendet, um das Substrat zu erwärmen und restliche Lösungsmittel und andere Verunreinigungen zu entfernen. Es kann bis zu vier Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm gleichzeitig verarbeiten. Es hat eine Heizleistung von bis zu 250 ° C und nutzt ein Luftdesign, um Substratverzerrungen zu minimieren. TEL MARK7 enthält eine Vielzahl von Sensoren, um sicherzustellen, dass das Substrat genau erhitzt und verarbeitet wird. TOKYO ELECTRON MARK-7 verfügt zudem über eine intuitive, benutzerfreundliche grafische Oberfläche sowie eine Vielzahl von individuellen Rezepten und Prozessprotokollen. Es bietet eine Reihe von statistischen Prozesssteuerungsfunktionen (SPC), um sicherzustellen, dass das Substrat mit höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit verarbeitet wird. Die Maschine eignet sich für die Reinigung, Abdichtung und Antireflexbeschichtung mehrerer Materialien, die Quarz, Silizium, Aluminium und Kupfer umfassen. MARK-7 ist ein effizientes und zuverlässiges Widerstandsentwicklungswerkzeug für den Photolithographieprozess. TOKYO ELECTRON MARK 7 bietet mit seinem modularen Aufbau und einer Vielzahl von Prozessfähigkeiten eine ideale Plattform für die Herstellung integrierter Schaltungen.